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| 講演名 | 2015-12-02 17:10 Self-Aligned Quadruple Patterningのための3次配線アルゴリズムを用いた効率的な配線生成手法 ○井原岳志・高橋篤司（東工大）  VLD2015-53 DC2015-49 |
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| 抄録 | （和） | Self-Aligned Quadruple Patterning(SAQP)は14nmノードにおける重要な製造技術である. SAQPに関する様々な配線アルゴリズムが提案されているが, 効率的に密集したSAQPに適した配線パターンを見つけることは容易ではない. SAQPに適した配線パターンのためのグリッドが提案されているが、グリッド上で有効な配線パターンを見つけることは容易ではない. グリッド上で, SAQPの配線パターンは3種類の配線から構成される. それらの中で, 3次パターンは折れ曲がり禁止制約を持つ. 一般的な配線アルゴリズムでは, SAQPで製造可能な有効な3次パターンを見つけることに失敗することがある. 本稿では, グリッド上で最適で有効な3次パターンを見つけることで, SAQPに適した2次元パターンを見つける. 実験でSAQPに適した配線パターンを効率的に見つけられたことを示す. |
| （英） | Self-Aligned Quadruple Patterning (SAQP) is an important manufacturing technique for sub 14 nm technology node. Although various routing algorithms for SAQP have been proposed, it is not easy to find a dense SAQP compliant routing pattern efficiently. Even though a grid for SAQP compliant routing pattern was proposed, it is not easy to find a valid routing pattern on the grid. The routing pattern of SAQP on the grid consists of three types of routing. Among them, third type has turn prohibition constraint on the grid. Typical routing algorithms often fail to find a valid routing for third type. In this paper, SAQP compliant two dimensional routing patterns are found on the grid by finding an optimal valid tertiary pattern effectively. Experiments show that SAQP compliant routing patterns are found efficiently. |
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| キーワード | （和） | SAQP / 折れ曲がり制約 / 配線アルゴリズム / / / / / |
| （英） | SAQP / Routing Algorithm / Turn Probition Constraint / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 338, VLD2015-53, pp. 93-98, 2015年12月. | |
| 資料番号 | VLD2015-53 | |
| 発行日 | 2015-11-24 (VLD, DC) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | VLD2015-53 DC2015-49 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD DC IPSJ-SLDM CPSY RECONF ICD CPM |
| 開催期間 | 2015-12-01 - 2015-12-03 |
| 開催地（和） | 長崎県勤労福祉会館 |
| 開催地（英） | Nagasaki Kinro Fukushi Kaikan |
| テーマ（和） | デザインガイア2015 -VLSI設計の新しい大地- |
| テーマ（英） | Design Gaia 2015 -New Field of VLSI Design- |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | VLD |
| 会議コード | 2015-12-VLD-DC-SLDM-CPSY-RECONF-ICD-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Self-Aligned Quadruple Patterningのための3次配線アルゴリズムを用いた効率的な配線生成手法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effective Routing Pattern Generation with an Optimum Tertiary Routing Algorithm for Self-Aligned Quadruple Patterning |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | SAQP / SAQP |
| キーワード(2)（和/英） | 折れ曲がり制約 / Routing Algorithm |
| キーワード(3)（和/英） | 配線アルゴリズム / Turn Probition Constraint |
| キーワード(4)（和/英） | / |
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| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 井原 岳志 / Takeshi Ihara / |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高橋 篤司 / Atsushi Takahashi / |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2015-12-02 17:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | VLD |
| 資料番号 | VLD2015-53, DC2015-49 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.338(VLD), no.339(DC) |
| ページ範囲 | pp.93-98 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-11-24 (VLD, DC) |
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