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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2015-11-26 10:30 RF窒素プラズマを用いた表面窒化によるα-(AlGa)2O3上AlGaN形成に関する検討 ○荒木 努・武馬 輝・増田 直・名西やす之（立命館大）・織田真也・人羅俊実（FLOSFIA）  ED2015-68 CPM2015-103 LQE2015-100 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2015-68 CPM2015-103 LQE2015-100 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 331, LQE2015-100, pp. 1-4, 2015年11月. | |
| 資料番号 | LQE2015-100 | |
| 発行日 | 2015-11-19 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2015-68 CPM2015-103 LQE2015-100 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2015-68 CPM2015-103 LQE2015-100 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED LQE CPM |
| 開催期間 | 2015-11-26 - 2015-11-27 |
| 開催地（和） | 大阪市立大学・学術情報センター会議室 |
| 開催地（英） | Osaka City University Media Center |
| テーマ（和） | 窒化物半導体光・電子デバイス、材料、関連技術、及び一般 |
| テーマ（英） | Nitride Semiconductor Devices, Materials, Related Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2015-11-ED-LQE-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | RF窒素プラズマを用いた表面窒化によるα-(AlGa)2O3上AlGaN形成に関する検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study on AlGaN formation on alpha-(AlGa)2O3 by surface nitridation using radio frequency nitrogen plasma |
| サブタイトル（英） | |
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| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒木 努 / Tsutomu Araki / アラキ ツトム |
| 第1著者 所属（和/英） | 立命館大学 (略称： 立命館大) Ritsumeikan University (略称： Ritsumeikan Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 武馬 輝 / Akira Buma / ブマ アキラ |
| 第2著者 所属（和/英） | 立命館大学 (略称： 立命館大) Ritsumeikan University (略称： Ritsumeikan Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 増田 直 / Nao Masuda / マスダ ナオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 立命館大学 (略称： 立命館大) Ritsumeikan University (略称： Ritsumeikan Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 名西 やす之 / Yasushi Nanishi / ナニシ ヤスシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 立命館大学 (略称： 立命館大) Ritsumeikan University (略称： Ritsumeikan Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 織田 真也 / Masaya Oda / オダ マサヤ |
| 第5著者 所属（和/英） | 株式会社FLOSFIA (略称： FLOSFIA) FLOSFIA INC. (略称： FLOSFIA) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 人羅 俊実 / Toshimi Hitora / ヒトラ トシミ |
| 第6著者 所属（和/英） | 株式会社FLOSFIA (略称： FLOSFIA) FLOSFIA INC. (略称： FLOSFIA) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2015-11-26 10:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | ED2015-68, CPM2015-103, LQE2015-100 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.329(ED), no.330(CPM), no.331(LQE) |
| ページ範囲 | pp.1-4 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2015-11-19 (ED, CPM, LQE) |
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