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講演抄録/キーワード
講演名 2015-10-30 15:30
高精度ガス制御器を用いたAl2O3のALD成膜におけるプロセス温度の検討
杉田久哉幸田安真諏訪智之黒田理人後藤哲也石井秀和東北大)・山下 哲フジキン)・寺本章伸須川成利大見忠弘東北大SDM2015-83 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2015-83
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文献情報 信学技報, vol. 115, no. 280, SDM2015-83, pp. 63-68, 2015年10月.
資料番号 SDM2015-83 
発行日 2015-10-22 (SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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研究会情報
研究会 SDM  
開催期間 2015-10-29 - 2015-10-30 
開催地(和) 東北大学未来研 
開催地(英) Niche, Tohoku Univ. 
テーマ(和) プロセス科学と新プロセス技術 
テーマ(英) Process Science and New Process Technology 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2015-10-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 高精度ガス制御器を用いたAl2O3のALD成膜におけるプロセス温度の検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Study of process temperature of Al2O3 atomic layer deposition using high accuracy process gasses supply controller 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 杉田 久哉 / Hisaya Sugita / スギタ ヒサヤ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 幸田 安真 / Yasumasa Koda / コウダ ヤスマサ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 諏訪 智之 / Tomoyuki Suwa / スワ トモユキ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 後藤 哲也 / Tetsuya Goto / ゴトウ テツヤ
第5著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 石井 秀和 / Hidekazu Ishii / イシイ ヒデカズ
第6著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 山下 哲 / Satoru Yamashita / ヤマシタ サトル
第7著者 所属(和/英) 株式会社フジキン (略称: フジキン)
Fujikin Incorporated (略称: Fujikin)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ
第8著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ
第9著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi / オオミ タダヒロ
第10著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
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講演者
発表日時 2015-10-30 15:30:00 
発表時間 30 
申込先研究会 SDM 
資料番号 IEICE-SDM2015-83 
巻番号(vol) IEICE-115 
号番号(no) no.280 
ページ範囲 pp.63-68 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-SDM-2015-10-22 


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