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講演抄録/キーワード
講演名
2015-10-30 15:30
高精度ガス制御器を用いたAl2O3のALD成膜におけるプロセス温度の検討
○
杉田久哉
・
幸田安真
・
諏訪智之
・
黒田理人
・
後藤哲也
・
石井秀和
(
東北大
)・
山下 哲
(
フジキン
)・
寺本章伸
・
須川成利
・
大見忠弘
(
東北大
)
SDM2015-83
エレソ技報アーカイブへのリンク:
SDM2015-83
抄録
(和)
(まだ登録されていません)
(英)
(Not available yet)
キーワード
(和)
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(英)
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文献情報
信学技報, vol. 115, no. 280, SDM2015-83, pp. 63-68, 2015年10月.
資料番号
SDM2015-83
発行日
2015-10-22 (SDM)
ISSN
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード
SDM2015-83
エレソ技報アーカイブへのリンク:
SDM2015-83
研究会情報
研究会
SDM
開催期間
2015-10-29 - 2015-10-30
開催地(和)
東北大学未来研
開催地(英)
Niche, Tohoku Univ.
テーマ(和)
プロセス科学と新プロセス技術
テーマ(英)
Process Science and New Process Technology
講演論文情報の詳細
申込み研究会
SDM
会議コード
2015-10-SDM
本文の言語
日本語
タイトル(和)
高精度ガス制御器を用いたAl2O3のALD成膜におけるプロセス温度の検討
サブタイトル(和)
タイトル(英)
Study of process temperature of Al2O3 atomic layer deposition using high accuracy process gasses supply controller
サブタイトル(英)
キーワード(1)(和/英)
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キーワード(2)(和/英)
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キーワード(3)(和/英)
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キーワード(4)(和/英)
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キーワード(5)(和/英)
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キーワード(6)(和/英)
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キーワード(7)(和/英)
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キーワード(8)(和/英)
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ)
杉田 久哉
/
Hisaya Sugita
/
スギタ ヒサヤ
第1著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku University
(略称:
Tohoku Univ.
)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ)
幸田 安真
/
Yasumasa Koda
/
コウダ ヤスマサ
第2著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku University
(略称:
Tohoku Univ.
)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ)
諏訪 智之
/
Tomoyuki Suwa
/
スワ トモユキ
第3著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku University
(略称:
Tohoku Univ.
)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ)
黒田 理人
/
Rihito Kuroda
/
クロダ リヒト
第4著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku University
(略称:
Tohoku Univ.
)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ)
後藤 哲也
/
Tetsuya Goto
/
ゴトウ テツヤ
第5著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku University
(略称:
Tohoku Univ.
)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ)
石井 秀和
/
Hidekazu Ishii
/
イシイ ヒデカズ
第6著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku University
(略称:
Tohoku Univ.
)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ)
山下 哲
/
Satoru Yamashita
/
ヤマシタ サトル
第7著者 所属(和/英)
株式会社フジキン
(略称:
フジキン
)
Fujikin Incorporated
(略称:
Fujikin
)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ)
寺本 章伸
/
Akinobu Teramoto
/
テラモト アキノブ
第8著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku University
(略称:
Tohoku Univ.
)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ)
須川 成利
/
Shigetoshi Sugawa
/
スガワ シゲトシ
第9著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku University
(略称:
Tohoku Univ.
)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ)
大見 忠弘
/
Tadahiro Ohmi
/
オオミ タダヒロ
第10著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku University
(略称:
Tohoku Univ.
)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第11著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第12著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第13著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第14著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第15著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第16著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第17著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第18著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第19著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第20著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
講演者
第1著者
発表日時
2015-10-30 15:30:00
発表時間
30分
申込先研究会
SDM
資料番号
SDM2015-83
巻番号(vol)
vol.115
号番号(no)
no.280
ページ範囲
pp.63-68
ページ数
6
発行日
2015-10-22 (SDM)
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