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講演抄録/キーワード
講演名 2015-08-24 09:30
[招待講演]フィラメント制御による28nm混載メモリ向けReRAM開発
早川幸夫姫野敦史安原隆太郎藤井 覚伊藤 理川島良男池田雄一郎川原昭文河合 賢魏 志強村岡俊作島川一彦三河 巧米田慎一パナソニックSDM2015-57 ICD2015-26 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2015-57 ICD2015-26
抄録 (和) 28nm混載メモリ向けとして、耐熱性に優れ、フィラメント制御が可能なTaOx ReRAM素子を提案する。その為に、我々は、新たな素子形成技術(低ダメージのエッチング技術,素子端面の酸化技術,素子のカプセル化技術)を開発し、フィラメント位置の制御を実現した。また、28nmサイズの素子において、良好な信頼性が得られる事を確認した。更に、40nm世代の配線ルールで2Mビット容量のメモリアレイを試作し、10万回の書換え特性と10年間のデータ保持特性(85℃)について検証を行った。 
(英) For 28-nm embedded application, we have proposed a TaOx-based ReRAM with precise filament positioning and high thermal stability. The cell was realized using several newly-developed process technologies and cell structures: low-damage etching, cell side oxidation and encapsulated cell structure. As a result, we succeeded for the first time in forming a filament at the cell center. In addition, we confirmed the feasibility of 20-nm cell size. Excellent reliability was achieved in 2-Mbit 40-nm ReRAM: 100k cycles and 10 years’ retention at 85 ˚C was demonstrated.
キーワード (和) ReRAM / TaOx / フィラメント制御 / 混載メモリ / / / /  
(英) ReRAM / TaOx / Filament control / Embedded memory / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 115, no. 190, SDM2015-57, pp. 1-5, 2015年8月.
資料番号 SDM2015-57 
発行日 2015-08-17 (SDM, ICD) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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PDFダウンロード SDM2015-57 ICD2015-26 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2015-57 ICD2015-26

研究会情報
研究会 SDM ICD  
開催期間 2015-08-24 - 2015-08-25 
開催地(和) 熊本市 
開催地(英) Kumamoto City 
テーマ(和) 低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 
テーマ(英) Low voltage/low power techniques, novel devices, circuits, and applications 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2015-08-SDM-ICD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) フィラメント制御による28nm混載メモリ向けReRAM開発 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Highly Reliable TaOx ReRAM with Centralized Filament for 28-nm Embedded Application 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ReRAM / ReRAM  
キーワード(2)(和/英) TaOx / TaOx  
キーワード(3)(和/英) フィラメント制御 / Filament control  
キーワード(4)(和/英) 混載メモリ / Embedded memory  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 早川 幸夫 / Yukio Hayakawa / ハヤカワ ユキオ
第1著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 姫野 敦史 / Atsushi Himeno / ヒメノ アツシ
第2著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 安原 隆太郎 / Ryutaro Yasuhara / ヤスハラ リュウタロウ
第3著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤井 覚 / Satoru Fujii / フジイ サトル
第4著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 伊藤 理 / Satoru Ito / イトウ サトル
第5著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 川島 良男 / Yoshio Kawashima / カワシマ ヨシオ
第6著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 池田 雄一郎 / Yuuichirou Ikeda / イケダ ユウイチロウ
第7著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 川原 昭文 / Akifumi Kawahara / カワハラ アキフミ
第8著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 河合 賢 / Ken Kawai / カワイ ケン
第9著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 魏 志強 / Zhiqiang Wei / ウェイ ツイチャン
第10著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 村岡 俊作 / Shunsaku Muraoka / ムラオカ シンサク
第11著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) 島川 一彦 / Kazuhiko Shimakawa / シマカワ カズヒコ
第12著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) 三河 巧 / Takumi Mikawa / ミカワ タクミ
第13著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) 米田 慎一 / Shinichi Yoneda / ヨネダ シンイチ
第14著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: Panasonic)
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講演者
発表日時 2015-08-24 09:30:00 
発表時間 50 
申込先研究会 SDM 
資料番号 IEICE-SDM2015-57,IEICE-ICD2015-26 
巻番号(vol) IEICE-115 
号番号(no) no.190(SDM), no.191(ICD) 
ページ範囲 pp.1-5 
ページ数 IEICE-5 
発行日 IEICE-SDM-2015-08-17,IEICE-ICD-2015-08-17 


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