講演抄録/キーワード |
講演名 |
2015-07-25 11:30
共鳴トンネル素子を用いたΔΣ型歪みセンサ ○前澤宏一・角谷祐一郎・中山大周・田近拓巳・森 雅之(富山大) ED2015-46 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2015-46 |
抄録 |
(和) |
共鳴トンネルダイオード(RTD)の微分負性抵抗は発振器の基盤であり,これを用いてすでに1THzを越える基本波発振が報告されている.RTD発振器は.THz信号源だけではなく,センサーへの応用も有望である.ここでは,カンチレバー上に装荷したRTD発振器の歪による周波数変調を利用した歪センサーについて述べた.これは,周波数変調(FM)中間信号を利用した$DeltaSigma$アナログ・デジタル変換器の原理を応用し,高ダイナミックレンジ,広帯域なセンサーを得ようというものである.本稿では,これを実現するための回路設計,プロセスについて述べ,また,$DeltaSigma$変調方式の最も重要な特性であるノイズシェーピング特性の実験的検証結果について述べた. |
(英) |
A negative differential resistance (NDR) of resonant tunneling diodes (RTDs) is a basis for high frequency oscillators. Over 1 THz oscillations have been already reported with the RTD oscillators. Besides THz signal sources. the RTD oscillatiors can be a basis for high performance sensors. In this paper we discuss a strain sensor based on the frequency modulation of a RTD oscillator fabricated on a cantilever. Employing frequency $DeltaSigma$ modulation technique, ultra high dynamic range and wide frequency range are expected for this implementation. We discuss the design and fabrication process of the RTD strain sensors, and demonstrate the noise shaping behavior, which is a most important feature of the $DeltaSigma$ modulation. |
キーワード |
(和) |
共鳴トンネルダイオード / 発振器 / ピエゾ効果 / $DeltaSigma$変調 / / / / |
(英) |
resonant tunneling diode / oscillator / piezo effect / $DeltaSigma$ modulation / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 115, no. 156, ED2015-46, pp. 51-55, 2015年7月. |
資料番号 |
ED2015-46 |
発行日 |
2015-07-17 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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