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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2015-06-19 15:20 触媒反応生成高エネルギーH2Oビームのノズル開口角依存性 寺口祐介・田島諒一・中村友紀・高橋一匡・玉山泰宏・○安井寛治（長岡技科大）  EMD2015-16 CPM2015-26 OME2015-29 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2015-16 CPM2015-26 OME2015-29 |
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| 抄録 | （和） | 白金ナノ粒子表面での水素と酸素の燃焼反応を利用して高エネルギーH2Oを生成しラバールノズルによりビーム状に噴出、気相中でアルキル亜鉛ガスと反応させ高エネルギーZnOプリカーサを生成後、金属酸化物薄膜を作製するCVD装置のノズル構造について検討した。圧縮性流れの理論に基づきラバールノズルの末広開口角50o, 60o, 90oについてH2Oビームのエネルギー状態を計算したところ、開口角が広いノズル程ノズルスロートからの温度低下が大きくなると計算された。またスケーリングパラメータを算出しそれをもとに平均クラスターサイズを求めたところクラスターサイズは1以下であり本CVD法においてH2Oビーム中にクラスターは形成されていないと推察された。更に末広開口角50o, 60o, 90oのラバールノズルを用いて堆積したZnO膜についてHall効果測定により電気的特性を調べた。 |
| （英） | Nozzle structure in a CVD apparatus using a high-energy H2O produced by a Pt-catalyzed H2 and O2 reaction was examined. Based on theory of compressive gas flow, distribution of the beam temperature, scaling parameter, and average cluster size of the H2O beam generated by conical nozzles were evaluated. As divergent aperture angle of the conical nozzle was changed from 50o to 90 o, H2O beam energy from nozzle throat to nozzle end was estimated to decrease largely. This is due to the difference in adiabatic expansion of the H2O beam depending on the divergent aperture angle. The condensation scaling parameters (*of the H2O beam for all nozzles were less than 100 and the average cluster sizes were estimated less than 1. Therefore, it was speculated that clusters were not formed in the H2O beam in this CVD apparatus. Electrical property of ZnO thin films deposited using the conical nozzles of divergent aperture angle from 50o to 90o was also measured by Hall effect. | |
| キーワード | （和） | 触媒反応 / 高エネルギーH2Oビーム / ラバールノズル / クラスターサイズ / ZnO薄膜 / / / |
| （英） | catalytic reaction / high-temperature H2O beam / conical nozzle / cluster size / ZnO film / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 104, CPM2015-26, pp. 29-34, 2015年6月. | |
| 資料番号 | CPM2015-26 | |
| 発行日 | 2015-06-12 (EMD, CPM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2015-16 CPM2015-26 OME2015-29 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2015-16 CPM2015-26 OME2015-29 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD CPM OME |
| 開催期間 | 2015-06-19 - 2015-06-19 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 材料デバイスサマーミーティング |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2015-06-EMD-CPM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 触媒反応生成高エネルギーH2Oビームのノズル開口角依存性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Dependence of H2O beam condition produced by a Pt-catalyzed H2-O2reaction on the opening angle of Laval nozzle |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 触媒反応 / catalytic reaction |
| キーワード(2)（和/英） | 高エネルギーH2Oビーム / high-temperature H2O beam |
| キーワード(3)（和/英） | ラバールノズル / conical nozzle |
| キーワード(4)（和/英） | クラスターサイズ / cluster size |
| キーワード(5)（和/英） | ZnO薄膜 / ZnO film |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寺口 祐介 / Yusuke Teraguchi / テラグチ ユウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田島 諒一 / Ryoichi Tajima / タジマ リョウイチ |
| 第2著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中村 友紀 / Tomoki Nakamura / ナカムラ トモキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高橋 一匡 / Kazumasa Takahashi / タカハシ カズマサ |
| 第4著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 玉山 泰宏 / Yasuhiro Tamayama / タマヤマ ヤスヒロ |
| 第5著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安井 寛治 / Kanji Yasui / ヤスイ カンジ |
| 第6著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第6著者 |
| 発表日時 | 2015-06-19 15:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | EMD2015-16, CPM2015-26, OME2015-29 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.103(EMD), no.104(CPM), no.105(OME) |
| ページ範囲 | pp.29-34 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-06-12 (EMD, CPM, OME) |
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