講演抄録/キーワード |
講演名 |
2015-06-19 13:30
ペチーニ法で作製したBi1+xFeO3 (x = 0.0, 0.2)ターゲットおよび パルスレーザー堆積法で作製したBiFeO3薄膜の化学当量性の評価 ○王 春・大島佳祐・稲葉隆哲・宋 華平・渡部雄太・永田知子・橋本拓也・高瀬浩一・山本 寛・岩田展幸(日大) EMD2015-12 CPM2015-22 OME2015-25 エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2015-12 CPM2015-22 OME2015-25 |
抄録 |
(和) |
パルスレーザー堆積法を用いて作製したBiFeO3薄膜の表面組成比について調べた。BiFeO3薄膜表面においてBi/Fe=0.72でBiが欠損していることがわかった。また、レーザーアブレーションした後のBiFeO3ターゲット表面形状及び元素組成比を調べた。BiFeO3ターゲット表面のレーザースポット内の位置により異なる表面像を観測した。レーザーアブレーション回数によって、BFOターゲットのBi/Feの組成比も異なったことがわかった。Biが不足していることよりBi過剰なBi1.2FeOxターゲットを作製した。Bi1.2FeOxターゲットの密度は85.1%となった。 |
(英) |
The study of the surface composition of BiFeO3 thin films grown by pulsed laser deposition showed that the surface of BiFeO3 is bismuth-poor with a ratio of Bi and Fe of Bi/Fe=0.72. We also investigated the surface composition and morphology of BiFeO3 target after laser ablation. The Bi/Fe ratios at the laser ablation positions were different if the times of pulsed were different. While all the Bi/Fe ratios were lower than 1 under different laser ablation conditions. In order to solve the problem of bismuth lack in the target and deposited BiFeO3 films. Bi-rich Bi1.2FeOx target was made successfully. The density of Bi1.2FeOx target is 85.1%. |
キーワード |
(和) |
BiFeO3 / ペチーニ法 / Bi過剰 / BFOターゲット / / / / |
(英) |
BiFeO3 / Pechini method / Bi excess / BFO target / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 115, no. 104, CPM2015-22, pp. 5-9, 2015年6月. |
資料番号 |
CPM2015-22 |
発行日 |
2015-06-12 (EMD, CPM, OME) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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