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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2015-05-22 11:00 局在プラズモン散乱を利用した高感度SOIフォトダイオードの開発 ○小野篤史（静岡大）・榎本 靖・松村康史（新日鉄住金化学）・佐藤弘明・猪川 洋（静岡大）  LQE2015-12 エレソ技報アーカイブへのリンク：LQE2015-12 |
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| 抄録 | （和） | 本研究の目的は，高性能CMOSに採用されているSOI基板に光検出器をモノリシック実装することである．SOI基板に高感度な光検出器を組み込むことができれば，低消費電力フォトICや高速画像認識LSI等が実現され，光デバイスに新たな可能性をもたらすものと考えられる．SOI上に光検出器を実装するためには，SOI光検出器の光吸収効率を向上させる必要がある．本研究では，可視光領域において局在プラズモン共鳴を示す金ナノ粒子に着目し，SOI-PINフォトダイオードに金ナノ粒子を付着した新しい受光デバイスを開発した． |
| （英） | We demonstrated the quantum efficiency (QE) of silicon-oninsulator (SOI) photodiode was enhanced in visible wavelength region by using gold (Au) nanoparticles. The photons plasmonically scattered by Au nanoparticles couples with the waveguide mode in SOI, and are absorbed efficiently. Optimum size and density of Au nanoparticles have been investigated by 3-D FDTD simulations for sensitivity improvement. The highest enhancement factor of the absorption efficiency in 100-nm-thick SOI is obtained by periodically attaching Au nanoparticles of about 140 nm in diameter and 1.7 × 109 particles/cm2 in density. Two-fold enhancement in QE was experimentally achieved in visible by the SOI photodiode with randomly arranged Au nanoparticles of the size and density close to the optimized values. | |
| キーワード | （和） | フォトダイオード / 表面プラズモン / シリコン / 導波路 / 金ナノ粒子 / / / |
| （英） | Photodiode / Surface plasmon / Silicon / Waveguide / Gold Nanoparticle / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 46, LQE2015-12, pp. 59-62, 2015年5月. | |
| 資料番号 | LQE2015-12 | |
| 発行日 | 2015-05-14 (LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | LQE2015-12 エレソ技報アーカイブへのリンク：LQE2015-12 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE LSJ |
| 開催期間 | 2015-05-21 - 2015-05-22 |
| 開催地（和） | 金沢能楽美術館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 量子光学，非線形光学，超高速現象，レーザ基礎，及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2015-05-LQE-LSJ |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 局在プラズモン散乱を利用した高感度SOIフォトダイオードの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of high-sensitive SOI photodiode by local surface plasmon scattering |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | フォトダイオード / Photodiode |
| キーワード(2)（和/英） | 表面プラズモン / Surface plasmon |
| キーワード(3)（和/英） | シリコン / Silicon |
| キーワード(4)（和/英） | 導波路 / Waveguide |
| キーワード(5)（和/英） | 金ナノ粒子 / Gold Nanoparticle |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小野 篤史 / Atsushi Ono / オノ アツシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 榎本 靖 / Yasushi Enomoto / エノモト ヤスシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 新日鉄住金化学株式会社 (略称： 新日鉄住金化学) Nippon Steel & Sumikin Chemical Co. Ltd. (略称： NSCC) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松村 康史 / Yasufumi Matsumura / マツムラ ヤスフミ |
| 第3著者 所属（和/英） | 新日鉄住金化学株式会社 (略称： 新日鉄住金化学) Nippon Steel & Sumikin Chemical Co. Ltd. (略称： NSCC) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 弘明 / Hiroaki Satoh / サトウ ヒロアキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 猪川 洋 / Hiroshi Inokawa / イノカワ ヒロシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2015-05-22 11:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | LQE2015-12 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.46 |
| ページ範囲 | pp.59-62 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2015-05-14 (LQE) |
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