講演抄録/キーワード |
講演名 |
2015-05-15 15:55
ワンチップルータ実現を目指すリング共振器装荷型III-V/Siハイブリッドレーザの検討 ○林 侑介・鈴木純一・井上慧史・Shovon MD Tanvir Hasan・久能雄輝・雨宮智宏・西山伸彦・荒井滋久(東工大) OCS2015-7 OPE2015-7 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2015-7 |
抄録 |
(和) |
直接貼り付けを用いたIII-V/Siハイブリッド集積は、小型で低消費電力なシリコンプラットフォーム上光電融合ルータの実現に有用な方法である。プラズマ活性化貼り付け法は従来の直接貼り付け法と比較して、低温加熱で高い貼り付け強度の実現が可能であり、これを利用することで高効率ハイブリッドレーザの実現が期待される。今回、窒素プラズマ活性化貼り付け法を用いてリング共振器装荷型ハイブリッドレーザを作製し、発振動作を確認した。また、シリコン基板上に形成したリング共振器に由来する発振スペクトルを確認した。 |
(英) |
III-V/Si hybrid integration with direct bonding is an attractive way to realize small and low power consumption electro-photonic convergence router. Because plasma activated bonding can have a tighter bonding strength at a lower heating temperature, in comparison with conventional bonding methods, realization of highly efficient hybrid laser is expected. This time, a GaInAsP/Si hyibrid laser with ring-resonator-type reflectors was demonstrated by using N2 plasma activated bonding. Lasing operation was confirmed and reflection spectra defined by the ring resonator were observed. |
キーワード |
(和) |
光電融合ルータ / シリコンフォトニクス / ハイブリッドレーザ / プラズマ活性化貼り付け / / / / |
(英) |
Electro-photonic convergence router / Silicon photonics / Hybrid laser / Plasma activated bonding / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 115, no. 30, OCS2015-7, pp. 27-32, 2015年5月. |
資料番号 |
OCS2015-7 |
発行日 |
2015-05-08 (OCS, OPE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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