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講演抄録/キーワード
講演名 2015-05-14 10:05
折れ曲がり制約を含む配線問題のNP完全性
本江俊幸高橋篤司東工大
技報オンラインサービス実施中
抄録 (和) 次世代リソグラフィ技術の一つである側壁プロセスを2回用いるSAQP(Self-Aligned Quadruple Patterning)
は微細な配線パターンを実現する有望な技術の一つであるが,すべての配線パターンを実現できるわけではない.
そこで,SAQPで実現可能な配線パターンを生成するために,特殊な3色グリッドを用いる
配線パターン生成手法が提案された.その生成手法では,配線はSAQPの製造工程に応じて3種類に分類される.
最終工程に対応する配線は,分岐は許されず,
さらに折れ曲がりが禁止されるグリッドが存在する.そのため,最終工程に対応する配線パターンを生成するために,
3色グリッドに対応するグラフ上で折れ曲がり制約を満たす2点間のパスを求めるアルゴリズムが必要となる.
本稿では,グラフ上に折れ曲がり制約が与えられたとき,一般に,2点間に折れ曲がり制約を満たすパスが存在す
るか否かの判定問題はNP完全であることを示す. 
(英) Self-Aligned Quadruple Patterning (SAQP) in which side-wall process is repeated twice is an important manufacturing technique to realize tiny routing pattern in next generation lithography, however, every routing pattern is not realized.
In order to obtain SAQP feasible routing patterns, a routing pattern generation method in which a special 3-color grid is used was proposed.
In the routing pattern generation method, routing is classified into three according to the manufacturing process of SAQP.
Among them, routing corresponding to the last manufacturing process neither allow to branch off nor to bend at several grids.
Therefore, an algorithm that obtains a path between two vertices that satisfies bend constraint is required to obtain a routing that corresponds to the last manufacturing process.
In this paper, the problem deciding whether there exists a path that satisfies the bend constraint is proved to be NP-complete in general.
キーワード (和) 折れ曲がり制約 / 配線問題 / NP完全 / SAQP / / / /  
(英) Self-Aligned Quadruple Patterning / Bend Constraint / Routing Problem / NP-complete / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 115, no. 21, VLD2015-3, pp. 13-18, 2015年5月.
資料番号 VLD2015-3 
発行日 2015-05-07 (VLD) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 VLD IPSJ-SLDM  
開催期間 2015-05-14 - 2015-05-14 
開催地(和) 北九州国際会議場 
開催地(英) Kitakyushu International Conference Center 
テーマ(和) システム設計および一般 
テーマ(英) System Design, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 VLD 
会議コード 2015-05-VLD-SLDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 折れ曲がり制約を含む配線問題のNP完全性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) NP-completeness of Routing Problem with Bend Constraint 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 折れ曲がり制約 / Self-Aligned Quadruple Patterning  
キーワード(2)(和/英) 配線問題 / Bend Constraint  
キーワード(3)(和/英) NP完全 / Routing Problem  
キーワード(4)(和/英) SAQP / NP-complete  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 本江 俊幸 / Toshiyuki Hongo / ホンゴウ トシユキ
第1著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Toyko Institute of technology (略称: Tokyo Tech)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 高橋 篤司 / Atsushi Takahashi / タカハシ アツシ
第2著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Toyko Institute of technology (略称: Tokyo Tech)
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講演者
発表日時 2015-05-14 10:05:00 
発表時間 25 
申込先研究会 VLD 
資料番号 IEICE-VLD2015-3 
巻番号(vol) IEICE-115 
号番号(no) no.21 
ページ範囲 pp.13-18 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-VLD-2015-05-07 


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