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講演抄録/キーワード
講演名 2015-04-30 11:05
非晶質Ge薄膜のAu誘起成長に及ぼすTEOS-SiO2キャップ層の影響
工藤和樹草野欽太酒井崇嗣熊本高専)・本山慎一楠田 豊古田真浩サムコ)・中 庸行沼田朋子堀場製作所)・高倉健一郎角田 功熊本高専SDM2015-11 OME2015-11 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2015-11 OME2015-11
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文献情報 信学技報, vol. 115, no. 18, SDM2015-11, pp. 41-44, 2015年4月.
資料番号 SDM2015-11 
発行日 2015-04-22 (SDM, OME) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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研究会情報
研究会 OME SDM  
開催期間 2015-04-29 - 2015-04-30 
開催地(和) 大濱信泉記念館多目的ホール 
開催地(英) Oh-hama Nobumoto Memorial Hall 
テーマ(和) 薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術、バイオテクノロジー、および一般 
テーマ(英) Thin FIlms, Functional Electronics Devices, New Functional Materials and Evaluation, BIomtechnology 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2015-04-OME-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 非晶質Ge薄膜のAu誘起成長に及ぼすTEOS-SiO2キャップ層の影響 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Influence of TEOS-SiO2 cap layer on Au induced lateral crystallization for amorphous Ge on insulator 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 工藤 和樹 / Kazuki Kudo / クドウ カズキ
第1著者 所属(和/英) 熊本高等専門学校 (略称: 熊本高専)
Kumamoto National College of Technology (略称: KNCT)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 草野 欽太 / Kinta Kusano / クサノ キンタ
第2著者 所属(和/英) 熊本高等専門学校 (略称: 熊本高専)
Kumamoto National College of Technology (略称: KNCT)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 酒井 崇嗣 / Takatsugu Sakai / サカイ タカツグ
第3著者 所属(和/英) 熊本高等専門学校 (略称: 熊本高専)
Kumamoto National College of Technology (略称: KNCT)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 本山 慎一 / Shinichi Motoyama / モトヤマ シンイチ
第4著者 所属(和/英) サムコ株式会社 (略称: サムコ)
SAMCO (略称: SAMCO)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 楠田 豊 / Yutaka Kusuda / クスダ ユタカ
第5著者 所属(和/英) サムコ株式会社 (略称: サムコ)
SAMCO (略称: SAMCO)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 古田 真浩 / Masahiro Furuta / フルタ マサヒロ
第6著者 所属(和/英) サムコ株式会社 (略称: サムコ)
SAMCO (略称: SAMCO)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 中 庸行 / Nobuyuki Naka / ナカ ノブユキ
第7著者 所属(和/英) 株式会社堀場製作所 (略称: 堀場製作所)
HORIBA (略称: HORIBA)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 沼田 朋子 / Tomoko Numata / ヌマタ トモコ
第8著者 所属(和/英) 株式会社堀場製作所 (略称: 堀場製作所)
HORIBA (略称: HORIBA)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 高倉 健一郎 / Kenichiro Takakura / タカクラ ケンイチロウ
第9著者 所属(和/英) 熊本高等専門学校 (略称: 熊本高専)
Kumamoto National College of Technology (略称: KNCT)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 角田 功 / Isao Tsunoda / ツノダ イサオ
第10著者 所属(和/英) 熊本高等専門学校 (略称: 熊本高専)
Kumamoto National College of Technology (略称: KNCT)
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講演者
発表日時 2015-04-30 11:05:00 
発表時間 25 
申込先研究会 SDM 
資料番号 IEICE-SDM2015-11,IEICE-OME2015-11 
巻番号(vol) IEICE-115 
号番号(no) no.18(SDM), no.19(OME) 
ページ範囲 pp.41-44 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-SDM-2015-04-22,IEICE-OME-2015-04-22 


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