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講演抄録/キーワード
講演名 2015-04-17 09:30
赤外分光法によるナノバブルの表面洗浄効果のその場観察
齋藤栄幸馬 騰・○山本英明平野愛弓庭野道夫東北大エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2015-10
抄録 (和) 直径1 µm以下の微細気泡はナノバブルと呼ばれ,表面洗浄効果や水質浄化などの特異な性質が明らかにされたことにより,近年,半導体工学や医療分野など多方面において応用が期待されている.しかし,そのような効果が生じる物理化学的機序は已然として不明な点が多い.本研究では赤外吸収分光法を用いて,規則的ナノ細孔を有するポーラスアルミナ薄膜を通して高圧ガスを溶液内に噴射することによりナノバブルを発生できることを確認し,続いて固体表面に吸着させた有機汚染物質とナノバブルとの相互作用を調べたのでその結果を報告する. 
(英) Using multiple internal reflection spectroscopy, we studied how nanobubbles interact with solid surfaces and removes organic contaminants. Nanobubbles were generated by passing pressurized gas through a porous alumina film. We show that a major organic contaminant in semiconductor processing, dioctyl phthalate (DOP), was efficiently removed from the surface via its exposure to oxygen nanobubbles, whereas no sign of removal was observed with nitrogen nanobubbles. The results suggest chemical interaction as dominant factor in contaminant removal.
キーワード (和) ナノバブル / ポーラスアルミナ / 赤外吸収分光法 / DOP / / / /  
(英) nanobubble / porous alumina / infrared absorption spectroscopy / DOP / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 115, no. 5, ED2015-10, pp. 47-52, 2015年4月.
資料番号 ED2015-10 
発行日 2015-04-09 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2015-04-16 - 2015-04-17 
開催地(和) 東北大通研ナノスピン実験施設 
開催地(英) Laboratory for Nanoelectronics and Spintronics 
テーマ(和) 有機デバイス・酸化物デバイス・一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2015-04-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 赤外分光法によるナノバブルの表面洗浄効果のその場観察 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) In-situ infrared absorption spectroscopy of interaction of nanobubbles with solid surfaces 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ナノバブル / nanobubble  
キーワード(2)(和/英) ポーラスアルミナ / porous alumina  
キーワード(3)(和/英) 赤外吸収分光法 / infrared absorption spectroscopy  
キーワード(4)(和/英) DOP / DOP  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 齋藤 栄幸 / Hideyuki Saito / サイトウ ヒデユキ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 馬 騰 / Teng Ma / マ タン
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 山本 英明 / Hideaki Yamamoto / ヤマモト ヒデアキ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 平野 愛弓 / Ayumi Hirano-Iwata / ヒラノ アユミ
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 庭野 道夫 / Michio Niwano / ニワノ ミチオ
第5著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
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講演者
発表日時 2015-04-17 09:30:00 
発表時間 25 
申込先研究会 ED 
資料番号 IEICE-ED2015-10 
巻番号(vol) IEICE-115 
号番号(no) no.5 
ページ範囲 pp.47-52 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-ED-2015-04-09 


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