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講演抄録/キーワード
講演名 2015-03-02 13:25
MEMS技術を用いた指触覚デバイスの設計と製作(第2報)
足立丈宗堀川祐樹星 陽一曽根順治東京工芸大
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抄録 (和) 現在, 指の皮膚内にある触覚器官へ直接情報を提示する多くのデバイスが研究されており, 振動などで擬似的に触覚情報を提示するもの, 直接的に触覚情報を提示するものが開発・研究されている. しかし, 提示精度と大きさの面から, 装着型としての活用が難しい. 本稿では, 高密度な情報生成可能なMEMS技術を用いて, 指腹に触覚提示を行うデバイスを開発する. それは, 高速で, 大きな力が生成可能な圧電方式を採用した装着型MEMSデバイスを提案する. 今回は,アクチュエータを前回よりもSi基板上に高密度で配置した. アクチュエータを設計改良し, シミュレーションの解析能力・精度を上げてアクチュエータの特性解析を行う. 次に, DC対抗ターゲット式スパッタ装置で, Si基板上に圧電材料であるPZTを成膜条件変えて成膜し, XRDで測定して結晶性の評価を行い, 蛍光X線分析(XRF)による, 元素量分析を調べた 
(英) One is contact force sensation and others are vibration methods in researches of tactile display. Vibration methods are suit for slip sense. Contact force sensation is not suit for wearable display. Therefore, we use MEMS technology to represent high-density stimuli. We improved the layout of cantilever actuator and confirmed performance of actuator using FEM analysis. We also developed optimal sputter condition of PZT film deposition. We confirmed major crystallization of PZT by XRD and suitable atomic element weight percent by X-ray Fluorescence Analysis.
キーワード (和) MEMS / 触覚提示 / 設計 / シミュレーション / 圧電アクチュエータ / / /  
(英) MEMS / Tactile Sensation / Design / Simulation / Piezoelectric actuator / / /  
文献情報 信学技報, vol. 114, no. 483, HIP2014-80, pp. 7-10, 2015年3月.
資料番号 HIP2014-80 
発行日 2015-02-23 (HIP) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 HIP  
開催期間 2015-03-02 - 2015-03-03 
開催地(和) 札幌市立大学 札幌駅前 サテライトキャンパス 
開催地(英)  
テーマ(和) 力触覚,手,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 HIP 
会議コード 2015-03-HIP 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) MEMS技術を用いた指触覚デバイスの設計と製作(第2報) 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Feasible Design and Development of Tactile Sensation Device for Finger using MEMS Technology (2nd Report) 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) MEMS / MEMS  
キーワード(2)(和/英) 触覚提示 / Tactile Sensation  
キーワード(3)(和/英) 設計 / Design  
キーワード(4)(和/英) シミュレーション / Simulation  
キーワード(5)(和/英) 圧電アクチュエータ / Piezoelectric actuator  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 足立 丈宗 / Takehiro Adachi / アダチ タケヒロ
第1著者 所属(和/英) 東京工芸大学 (略称: 東京工芸大)
Tokyo Polytechnic University (略称: Tokyo Polytechnic Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 堀川 祐樹 / Yuki Horikawa / ホリカワ ユウキ
第2著者 所属(和/英) 東京工芸大学 (略称: 東京工芸大)
Tokyo Polytechnic University (略称: Tokyo Polytechnic Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 星 陽一 / Yoichi Hoshi / ホシ ヨウイチ
第3著者 所属(和/英) 東京工芸大学 (略称: 東京工芸大)
Tokyo Polytechnic University (略称: Tokyo Polytechnic Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 曽根 順治 / Junji Sone / ソネ ジュンジ
第4著者 所属(和/英) 東京工芸大学 (略称: 東京工芸大)
Tokyo Polytechnic University (略称: Tokyo Polytechnic Univ.)
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講演者
発表日時 2015-03-02 13:25:00 
発表時間 25 
申込先研究会 HIP 
資料番号 IEICE-HIP2014-80 
巻番号(vol) IEICE-114 
号番号(no) no.483 
ページ範囲 pp.7-10 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-HIP-2015-02-23 


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