講演抄録/キーワード |
講演名 |
2015-01-23 09:00
Poly-Si Hall素子による磁場センサ ~ 高電圧印加とオペアンプ回路による感度向上 ~ ○吉川朗登・松本貴明・宮村祥吾・志賀春紀・松田時宜・木村 睦(龍谷大)・小澤徳郎・青木幸司・郭 志徹(エーユーオージャパン) EID2014-47 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2014-47 |
抄録 |
(和) |
我々は,poly-Si Hall素子による磁場センサの研究開発を行っている.本研究では,感度を向上させるため、Hall素子に580Vの高電圧印加をし、5.13V/Tの最大感度を得た.また,poly-Si TFTのオペアンプのオープンループゲインの特性を評価し,オペアンプ回路を搭載したpoly-Si TFT Hall素子では,poly-Si TFT Hall素子に対しては10Vの低電圧印加でも,オペアンプ回路による増幅で1.71 V/Tの感度を得た.これらの実験結果からpoly-Si Hall素子が磁束密度の測定に利用できることがわかり,磁場エリアセンサに応用できる可能性があると考えられる. |
(英) |
We are executing research and development of magnetic field sensors using poly-Si Hall devices. In this study, in order to improve the sensitivity, we applied a high voltage of 580V to a Hall device and obtained the maximum sensitivity of 5.13V/T. Moreover, we evaluated open loop gain of an operational amplifier using poly-Si TFTs. In a poly-Si TFT Hall device equipped with the operational amplifier circuit, we applied only a low voltage of 10V to the poly-Si TFT Hall device but obtained a large sensitivity of 1.71 V/T by amplification using the operational amplifier circuit. These experimental results show that poly-Si Hall devices can be utilized to measure the magnetic-flux density and there is a possibility that they can be applied to magnetic-field area sensors. |
キーワード |
(和) |
Poly-Si / Hall素子 / 磁場センサ / 高電圧印加 / オペアンプ / / / |
(英) |
Poly-Si / Hall device / Magnetic field sensor / High voltage / Operational amplifier circuit / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 114, no. 407, EID2014-47, pp. 49-52, 2015年1月. |
資料番号 |
EID2014-47 |
発行日 |
2015-01-15 (EID) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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