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| 講演名 | 2014-11-27 14:55 ウエットエッチングによるサファイア表面加工基板(PSS)を用いた深紫外LED用高品質AlNテンプレートの作製 ○金沢裕也・豊田史朗・大島一晟（埼玉大/理研）・鎌田憲彦（埼玉大）・鹿嶋行雄・松浦恵里子（丸文）・嶋谷 聡（東京応化）・小久保光典・田代貴晴（東芝機械）・大川貴史・上村隆一郎・長田大和（アルバック）・平山秀樹（理研）  ED2014-81 CPM2014-138 LQE2014-109 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2014-81 CPM2014-138 LQE2014-109 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 338, LQE2014-109, pp. 39-44, 2014年11月. | |
| 資料番号 | LQE2014-109 | |
| 発行日 | 2014-11-20 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2014-81 CPM2014-138 LQE2014-109 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2014-81 CPM2014-138 LQE2014-109 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE ED CPM |
| 開催期間 | 2014-11-27 - 2014-11-28 |
| 開催地（和） | 大阪大学 吹田キャンパス 理工学図書館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 窒化物半導体光・電子デバイス、材料、関連技術、及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2014-11-LQE-ED-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ウエットエッチングによるサファイア表面加工基板(PSS)を用いた深紫外LED用高品質AlNテンプレートの作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of high-quality AlN buffer layer for deep-UV LEDs grown on wet chemical etched patterned sapphire substrate |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
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| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金沢 裕也 / Yuya Kanazawa / カナザワ ユウヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 埼玉大学/理化学研究所 (略称： 埼玉大/理研) Saitama University/RIKEN (略称： Saitama Univ./RIKEN) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 豊田 史朗 / Shiro Toyoda / トヨダ シロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 埼玉大学/理化学研究所 (略称： 埼玉大/理研) Saitama University/RIKEN (略称： Saitama Univ./RIKEN) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大島 一晟 / Issei Ohshima / オオシマ イッセイ |
| 第3著者 所属（和/英） | 埼玉大学/理化学研究所 (略称： 埼玉大/理研) Saitama University/RIKEN (略称： Saitama Univ./RIKEN) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鎌田 憲彦 / Norihiko Kamata / カマタ ノリヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鹿嶋 行雄 / Yukio Kashima / カシマ ユキオ |
| 第5著者 所属（和/英） | 丸文株式会社 (略称： 丸文) Marubun Corporaiton (略称： Marubun) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松浦 恵里子 / Eriko Matsuura / マツウラ エリコ |
| 第6著者 所属（和/英） | 丸文株式会社 (略称： 丸文) MARUBUN CORPORATION (略称： MARUBUN) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 嶋谷 聡 / Satoshi Shimatani / シマタニ サトシ |
| 第7著者 所属（和/英） | 東京応化工業株式会社 (略称： 東京応化) TOKYO OHKA KOGYO (略称： TOK) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小久保 光典 / Mitsunori Kokubo / コクボ ミツノリ |
| 第8著者 所属（和/英） | 東芝機械株式会社 (略称： 東芝機械) TOSHIBA MACHINE (略称： TOSHIBA MACHINE) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田代 貴晴 / Takaharu Tashiro / タシロ タカハル |
| 第9著者 所属（和/英） | 東芝機械株式会社 (略称： 東芝機械) TOSHIBA MACHINE (略称： TOSHIBA MACHINE) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大川 貴史 / Takashi Ohkawa / オオカワ タカシ |
| 第10著者 所属（和/英） | アルバック株式会社 (略称： アルバック) ULVAC (略称： ULVAC) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上村 隆一郎 / Ryuichiro Kamimura / カミムラ リュウイチロウ |
| 第11著者 所属（和/英） | アルバック株式会社 (略称： アルバック) ULVAC (略称： ULVAC) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長田 大和 / Yamato Osada / オサダ ヤマト |
| 第12著者 所属（和/英） | アルバック株式会社 (略称： アルバック) ULVAC (略称： ULVAC) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平山 秀樹 / Hideki Hirayama / ヒラヤマ ヒデキ |
| 第13著者 所属（和/英） | 理化学研究所 (略称： 理研) RIKEN (略称： RIKEN) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第14著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第16著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第17著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-11-27 14:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | ED2014-81, CPM2014-138, LQE2014-109 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.336(ED), no.337(CPM), no.338(LQE) |
| ページ範囲 | pp.39-44 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2014-11-20 (ED, CPM, LQE) |
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