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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-11-06 10:55 モンテカルロ法によるSiCへの3次元不純物イオン注入計算 ○岡本 稔・清水 守・大倉康幸・山口 憲・小池秀耀（アドバンスソフト）  SDM2014-98 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2014-98 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | パワーデバイス / TCAD / 3次元計算 / イオン注入 / 4H-SiC基板 / 6H-SiC基板 / 並列計算 / |
| （英） | Power Device / TCAD / 3D calculation / Ion implantation / 4H-SiC / 6H-SiC / Parallel calculation / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 291, SDM2014-98, pp. 13-18, 2014年11月. | |
| 資料番号 | SDM2014-98 | |
| 発行日 | 2014-10-30 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2014-98 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2014-98 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2014-11-06 - 2014-11-07 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 |
| テーマ（英） | Process, Device, Circuit Simulation, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2014-11-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | モンテカルロ法によるSiCへの3次元不純物イオン注入計算 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Three-dimensional calculation of ion implantation to SiC substrate |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | パワーデバイス / Power Device |
| キーワード(2)（和/英） | TCAD / TCAD |
| キーワード(3)（和/英） | 3次元計算 / 3D calculation |
| キーワード(4)（和/英） | イオン注入 / Ion implantation |
| キーワード(5)（和/英） | 4H-SiC基板 / 4H-SiC |
| キーワード(6)（和/英） | 6H-SiC基板 / 6H-SiC |
| キーワード(7)（和/英） | 並列計算 / Parallel calculation |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡本 稔 / Minoru Okamoto / オカモト ミノル |
| 第1著者 所属（和/英） | アドバンスソフト株式会社 (略称： アドバンスソフト) AdvanceSoft Corporation (略称： AdvanceSoft) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 守 / Mamoru Shimizu / シミズ マモル |
| 第2著者 所属（和/英） | アドバンスソフト株式会社 (略称： アドバンスソフト) AdvanceSoft Corporation (略称： AdvanceSoft) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大倉 康幸 / Yasuyuki Ohkura / オオクラ ヤスユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | アドバンスソフト株式会社 (略称： アドバンスソフト) AdvanceSoft Corporation (略称： AdvanceSoft) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山口 憲 / Ken Yamaguchi / ヤマグチ ケン |
| 第4著者 所属（和/英） | アドバンスソフト株式会社 (略称： アドバンスソフト) AdvanceSoft Corporation (略称： AdvanceSoft) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小池 秀耀 / Hideaki Koike / コイケ ヒデアキ |
| 第5著者 所属（和/英） | アドバンスソフト株式会社 (略称： アドバンスソフト) AdvanceSoft Corporation (略称： AdvanceSoft) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第6著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-11-06 10:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2014-98 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.291 |
| ページ範囲 | pp.13-18 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2014-10-30 (SDM) |
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