講演抄録/キーワード |
講演名 |
2014-10-25 12:20
LSIパッケージレベルDCパワーグリッドにおけるDC-DCコンバータ用薄型インダクタの開発 ○矢崎裕一朗・近藤雄太・石立一馬・萩田和洋(信州大)・渡辺哲朗・清野裕斗(東工大)・曽根原 誠・佐藤敏郎(信州大)・松下伸広(東工大) CPM2014-121 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2014-121 |
抄録 |
(和) |
次世代のLSIパワーデリバリー方式として期待するPOLコンバータを同一パッケージに集積したパッケージレベルパワーグリッドを確立するために,これまでに,プレーナパワーインダクタのパッケージ内蔵に関する検討を行ってきた.今回,新たにパッケージ内蔵用インダクタの開発を目的に,Zn-Feフェライト膜を下部磁心に配置し,25ミクロン厚の2ターンスパイラルコイルの上部をカルボニル鉄粉/エポキシ複合材料磁心で埋め込んだハイブリッド磁心プレーナパワーインダクタを試作し評価した.実験結果より50 MHzにおいて,インダクタンス値は5.6 nH,Q値は16となった.また,直流重畳特性において,およそ3 Aの直流電流重畳時までインダクタンス値は一定となることが分かった. |
(英) |
In order to realize the basic technology of a Package Level dc Power Grid (PLPG) for the next generation power delivery to LSIs, a hybrid core planar spiral inductor embedded in an organic interposer, for several tens megahertz switching power supply integrated in LSI package, has been proposed. This hybrid core spiral inductor had a quasi closed magnetic circuit consisting of the bottom Zn-Fe ferrite core and top carbonyl-iron/epoxy composite core and a 25 m thick, 2 turn electroplated copper spiral coil. In this study, this hybrid core spiral inductor has been fabricated and evaluated. From the experimental results, it was found that the fabricated inductor had 5.6 nH inductance, Q-factor of 16 at 50 MHz and 25 m dc coil resistance. Its inductance was constant even when the superimposed dc current increased up to around 5.5 A. |
キーワード |
(和) |
パッケージレベルパワーグリッド / プレーナパワーインダクタ / Zn-Feフェライト膜 / カルボニル鉄粉/エポキシ複合材料 / / / / |
(英) |
package-level power grid / planar power inductor / Zn-Fe ferrite / carbonyl-iron/epoxy composite / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 114, no. 276, CPM2014-121, pp. 75-80, 2014年10月. |
資料番号 |
CPM2014-121 |
発行日 |
2014-10-17 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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