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講演抄録/キーワード
講演名 2014-10-24 16:40
CaFeOx、LaFeO3単相膜および[CaFeOx/LaFeO3]人工超格子の成膜条件最適化と電気的磁気的特性
大島佳祐渡部雄太及川貴大稲葉隆哲宋 華平永田知子橋本拓也高瀬浩一山本 寛・○岩田展幸日大CPM2014-111 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2014-111
抄録 (和) CaFeOx (CFO)およびLaFeO3 (LFO)薄膜をパルスレーザ堆積(PLD)法により作製した。成膜条件探査奥として成膜時の酸素圧力を20Pa、1Pa、0.1Paに変化させて成膜を行った。成膜した各薄膜の結晶性をX線回折(XRD)にて評価した。CFO薄膜はすべての成膜時酸素圧力においてXRD2θ-θパターンで酸素欠損を示す格子間隔が倍周期のピークを確認した。また薄膜ピークが20Paに比べ高角側へシフトした。CFO(002)疑似ペロブスカイト由来のピークとの強度比を比較すると成膜時の酸素圧力が1Paの時、強度比0.011と最も低い値を示した。ロッキングカーブ測定から計算した半値幅(Full Width at Half Maximum, FWHM)は成膜圧力20Paと1Paを比較すると差は-40%であった。1Paから0.1Paでは-7%の変化しか起こらなかった。以上の結果より成膜時内圧1Paで良質なCFOx薄膜が作製できることが分かった。LFO薄膜において成膜時内圧1Paでは、良好な結晶性、粗悪な結晶性を持つ二つの層に分離したような薄膜成長したロッキングカーブが得られた。ロッキングカーブ測定より計算したFWHMを比較すると1Paと20Paでは12%の差が発生した。 
(英) LaFeO3 and CaFeOx films are deposited by PLD method. We changed O2 pressure during deposition 20Pa 1Pa 0.1Pa for the optimization of growth condition. CFO and LFO films were measurement by X-ray diffraction (XRD). CFO film all of O2 pressure observed indicated peaks indicate oxygen vacancy by XRD 2θ-θ pattern. The intensity ratio was calculated by CFO (002) PC peaks and extra peaks. At the O2 pressure 1Pa the intensity ratio was minimum (value: 0.011). Full Width at Half Maximum (FWHM) is also decrease by the O2 pressure during deposition. FWHM value that during deposition pressure was 1Pa decrease 40% compared with 20Pa. FWHM value that during deposition pressure was 0.1Pa decrease 7% compared with 1Pa. From the results the best O2 pressure was 1Pa. In the case of LFO at deposition pressure 1Pa, the result of rocking curve indicated two phase grown good crystallinity and the poor Crystallinity. FWHM calculate from rocking curve was a difference of 12% in 20Pa to 1Pa.
キーワード (和) PLD法 / 人工超格子 / 巨大電気磁気効果 / / / / /  
(英) PLD method / Super lattice / Giant Magnetic-Electric Effect / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 114, no. 276, CPM2014-111, pp. 33-37, 2014年10月.
資料番号 CPM2014-111 
発行日 2014-10-17 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2014-111 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2014-111

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2014-10-24 - 2014-10-25 
開催地(和) 信州大学工学部 地域共同研究センター3階研修 キャンパスマップ17番 
開催地(英)  
テーマ(和) 薄膜プロセス・材料,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2014-10-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) CaFeOx、LaFeO3単相膜および[CaFeOx/LaFeO3]人工超格子の成膜条件最適化と電気的磁気的特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Optimization of Growth Condition and Electric/Magnetic Properties of CaFeOx, LaFeO3 Films and [CaFeOx/LaFeO3] Superlattice 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) PLD法 / PLD method  
キーワード(2)(和/英) 人工超格子 / Super lattice  
キーワード(3)(和/英) 巨大電気磁気効果 / Giant Magnetic-Electric Effect  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 大島 佳祐 / Keisuke Oshima / オオシマ ケイスケ
第1著者 所属(和/英) 日本大学 (略称: 日大)
Nihon University (略称: Nihon Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡部 雄太 / Yuta Watabe / ワタベ ユウタ
第2著者 所属(和/英) 日本大学 (略称: 日大)
Nihon University (略称: Nihon Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 及川 貴大 / Takahiro Oikawa / オイカワ タカヒロ
第3著者 所属(和/英) 日本大学 (略称: 日大)
Nihon University (略称: Nihon Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 稲葉 隆哲 / Takaaki Inaba / イナバ タカアキ
第4著者 所属(和/英) 日本大学 (略称: 日大)
Nihon University (略称: Nihon Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 宋 華平 / Huaping Song / ソン フアピン
第5著者 所属(和/英) 日本大学 (略称: 日大)
Nihon University (略称: Nihon Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 永田 知子 / Tomoko Nagata / ナガタ トモコ
第6著者 所属(和/英) 日本大学 (略称: 日大)
Nihon University (略称: Nihon Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 橋本 拓也 / Takuya Hashimoto / ハシモト タクヤ
第7著者 所属(和/英) 日本大学 (略称: 日大)
Nihon University (略称: Nihon Univ.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 高瀬 浩一 / Kouichi Takase / タカセ コウイチ
第8著者 所属(和/英) 日本大学 (略称: 日大)
Nihon University (略称: Nihon Univ.)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 山本 寛 / Hiroshi Yamamoto / ヤマモト ヒロシ
第9著者 所属(和/英) 日本大学 (略称: 日大)
Nihon University (略称: Nihon Univ.)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 岩田 展幸 / Nobuyuki Iwata / イワタ ノブユキ
第10著者 所属(和/英) 日本大学 (略称: 日大)
Nihon University (略称: Nihon Univ.)
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講演者 第10著者 
発表日時 2014-10-24 16:40:00 
発表時間 20分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2014-111 
巻番号(vol) vol.114 
号番号(no) no.276 
ページ範囲 pp.33-37 
ページ数
発行日 2014-10-17 (CPM) 


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