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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-07-17 10:00 金属回折格子によるSOIフォトダイオードの感度向上 ○佐藤弘明・岩田将平・小野篤史・猪川 洋（静岡大）  MW2014-61 OPE2014-30 EST2014-22 MWP2014-19 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2014-61 OPE2014-30 EST2014-22 MWP2014-19 |
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| 抄録 | （和） | SOI (silicon-on-insulator) 技術による集積回路は，バルクシリコンのものと比較して動作速度，消費電力や集積度などの点で優れているが，SOI膜厚は200 nm以下とする場合が一般的で光吸収層が薄いため，十分な感度を有する光検出器を作り込むことは困難であった．本報告ではその解決方法の一つとして，SOIフォトダイオード上にライン・アンド・スペース型の金属回折格子を配置する方法によって，特定の波長・偏光に対して感度をおよそ１桁向上できることを，実際に作製した金の回折格子付SOIフォトダイオードの測定結果に基づいて説明する． |
| （英） | The integrated circuits based on SOI (silicon-on-insulator) technology have the advantages of operation speed, power consumption, circuit density, etc., compared with those of bulk silicon. However, the sensitivity of SOI photodetectors is usually not high due to the small thickness. To enhance the sensitivity, a new type of SOI photodiode with line-and-space metal grating has been proposed. In this report, it is shown that the approximately one-order magnitude enhancement for specific wavelength and polarization can be achieved by applying the line-and-space metal grating to thin SOI photodiode. Keyword SOI photodiode, metal diffraction grating, wavelength selectivity, polarization dependence. |
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| キーワード | （和） | SOIフォトダイオード / 金属回折格子 / 波長選択性 / 偏光依存性 / / / / |
| （英） | SOI photodiode / metal diffraction grating / wavelength selectivity / polarization dependence / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 142, OPE2014-30, pp. 75-80, 2014年7月. | |
| 資料番号 | OPE2014-30 | |
| 発行日 | 2014-07-10 (MW, OPE, EST, MWP) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2014-61 OPE2014-30 EST2014-22 MWP2014-19 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2014-61 OPE2014-30 EST2014-22 MWP2014-19 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW OPE EMT MWP EST IEE-EMT |
| 開催期間 | 2014-07-17 - 2014-07-18 |
| 開催地（和） | 室蘭工業大 |
| 開催地（英） | Muroran Inst. of Tech. |
| テーマ（和） | 光・電波ワークショップ |
| テーマ（英） | Light wave & Electromagnetic Wave Workshop |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2014-07-MW-OPE-EMT-MWP-EST-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 金属回折格子によるSOIフォトダイオードの感度向上 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Sensitivity Enhancement of SOI Photodiode by Metal Diffraction Grating |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | SOIフォトダイオード / SOI photodiode |
| キーワード(2)（和/英） | 金属回折格子 / metal diffraction grating |
| キーワード(3)（和/英） | 波長選択性 / wavelength selectivity |
| キーワード(4)（和/英） | 偏光依存性 / polarization dependence |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 弘明 / Hiroaki Satoh / サトウ ヒロアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩田 将平 / Shohei Iwata / イワタ ショウヘイ |
| 第2著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小野 篤史 / Atsushi Ono / オノ アツシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 猪川 洋 / Hiroshi Inokawa / イノカワ ヒロシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-07-17 10:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | MW2014-61, OPE2014-30, EST2014-22, MWP2014-19 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.141(MW), no.142(OPE), no.143(EST), no.144(MWP) |
| ページ範囲 | pp.75-80 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2014-07-10 (MW, OPE, EST, MWP) |
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