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講演抄録/キーワード
講演名 2014-05-29 09:00
窒化物系LED作製のレーザー加工による光取り出し効率向上の検討
花井 駿名城大)・鈴木敦志北野 司ELSEED)・飯田大輔加藤貴久竹内哲也岩谷素顕上山 智赤﨑 勇名城大ED2014-31 CPM2014-14 SDM2014-29 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2014-31 CPM2014-14 SDM2014-29
抄録 (和) 低コストでLEDデバイスを作製するには、個々のデバイスの間隔を狭くする必要がある。レーザーによるへき開のための溝形成は、狭ピッチでの分離を可能とし、同時に高精度かつ高スループットが実現できる。しかし、レーザー加工によって形成された溝側面には非晶質酸化物が存在しており、それによる光吸収による損失が課題となっている。本報告では、この非晶質酸化物の完全除去を行うために、新しいLED作製プロセスを提案する。新プロセスを導入することで光吸収損失を抑制し、1.25倍の光出力の向上が得られた。 
(英) For reduction of a manufacturing cost of the light-emitting-diode (LED), it is necessary to reduce the distance of individual devices. Laser scribing method is suitable to break wafer into narrow chips, and it enables precise and high throughput production. However, on the side wall of the laser scribed grooves, aluminum-rich amorphous oxide product, which causes the light absorption loss, is formed, after the irradiation of the laser beam. To solve this problem, we propose a new LED fabrication procedure. As a result of the new process, 25% improvement of the light output in a flip chip type blue LED was obtained.
キーワード (和) 窒化物LED / レーザー加工 / 光取り出し効率 / 熱リン酸 / 非晶質酸化物 / / /  
(英) Nitride-Based LED / laser process / light extraction efficiency / hot phosphoric acid / amorphous oxide / / /  
文献情報 信学技報, vol. 114, no. 57, CPM2014-14, pp. 65-68, 2014年5月.
資料番号 CPM2014-14 
発行日 2014-05-21 (ED, CPM, SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2014-31 CPM2014-14 SDM2014-29 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2014-31 CPM2014-14 SDM2014-29

研究会情報
研究会 CPM ED SDM  
開催期間 2014-05-28 - 2014-05-29 
開催地(和) 名古屋大学VBL3階 
開催地(英)  
テーマ(和) 結晶成長、評価及びデバイス(化合物、Si、SiGe、電子・光材料)およびその他 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2014-05-CPM-ED-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 窒化物系LED作製のレーザー加工による光取り出し効率向上の検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Investigation of laser scribing in fabrication of nitride-based LEDs for improvement of light-absorptive 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 窒化物LED / Nitride-Based LED  
キーワード(2)(和/英) レーザー加工 / laser process  
キーワード(3)(和/英) 光取り出し効率 / light extraction efficiency  
キーワード(4)(和/英) 熱リン酸 / hot phosphoric acid  
キーワード(5)(和/英) 非晶質酸化物 / amorphous oxide  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 花井 駿 / Shun Hanai / ハナイ シュン
第1著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 鈴木 敦志 / Atsushi Suzuki / スズキ アツシ
第2著者 所属(和/英) ELSEED株式会社 (略称: ELSEED)
ELSEED Corporation (略称: ELSEED)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 北野 司 / Tsukasa Kitano / キタノ ツカサ
第3著者 所属(和/英) ELSEED株式会社 (略称: ELSEED)
ELSEED Corporation (略称: ELSEED)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 飯田 大輔 / Daisuke Iida / イイダ ダイスケ
第4著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 加藤 貴久 / Takahisa Kato / カトウ タカヒサ
第5著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 竹内 哲也 / Tetsuya Takeuchi / タケウチ テツヤ
第6著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 岩谷 素顕 / Motoaki Iwaya / イワヤ モトアキ
第7著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 上山 智 / Satoshi Kamiyama / カミヤマ サトシ
第8著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 赤﨑 勇 / Isamu Akasaki / アカサキ イサム
第9著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.)
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講演者
発表日時 2014-05-29 09:00:00 
発表時間 20 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-ED2014-31,IEICE-CPM2014-14,IEICE-SDM2014-29 
巻番号(vol) IEICE-114 
号番号(no) no.56(ED), no.57(CPM), no.58(SDM) 
ページ範囲 pp.65-68 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-ED-2014-05-21,IEICE-CPM-2014-05-21,IEICE-SDM-2014-05-21 


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