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講演抄録/キーワード
講演名 2014-01-24 14:18
高温CVDにより成長した六方晶BN薄膜の発光特性
梅原直己桑原伊織李 惠映光野徹也小南裕子中西洋一郎原 和彦静岡大EID2013-14 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2013-14
抄録 (和) BCl3とNH3を原料とする常圧の化学気相法を用いて,c面サファイア基板上に六方晶窒化ホウ素(h-BN)薄膜の作製を行った.成長温度は1300~1700 °Cであり,同じ温度でNH3による基板表面の窒化を行った後に成長を開始した.X線回折の成長温度依存性から,成長温度の上昇に伴い結晶化が促進され,1500 °Cでc軸に強く配向した薄膜が得られた.しかしさらに高い温度では,過度の基板窒化による結晶性の劣化が示唆された.カソードルミネッセンス特性は結晶性と相関があり,1500 °Cで作製した試料において,h-BNからの明確な発光が観測された. 
(英) Hexagonal boron nitride (h-BN) thin films have been grown on a c-plane sapphire substrate by atmospheric-pressure chemical vapor deposition using BCl3 and NH3 as precursors. The growth temperature (Tg) was varied from 1300 to 1700 °C. Prior to growth, the substrate surface was nitrided in a NH3 flow at Tg. The XRD measurement has indicated that the crystallization is promoted with increasing Tg from 1300 C, resulting in the growth of the film strongly oriented towards c-axis at 1500 °C. However, the further increase of Tg deteriorated the crystalline quality, which suggests the excessive nitridation of the substrate surface. The cathodoluminescence property has a correlation with the crystalline quality. The pronounced emission band characteristic of h-BN was also observed from the film grown at 1500 °C.
キーワード (和) 六方晶窒化ホウ素 / CVD / 薄膜 / カソードルミネッセンス / / / /  
(英) hexagonal boron nitride / CVD / thin film / cathodoluminescence / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 113, no. 408, EID2013-14, pp. 25-28, 2014年1月.
資料番号 EID2013-14 
発行日 2014-01-17 (EID) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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PDFダウンロード EID2013-14 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2013-14

研究会情報
研究会 EID ITE-IDY IEIJ-SSL IEE-EDD SID-JC  
開催期間 2014-01-24 - 2014-01-25 
開催地(和) 新潟大学 駅南キャンパス 
開催地(英) Niigata University 
テーマ(和) 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 EID 
会議コード 2014-01-EID-IDY-SSL-EDD-JC 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 高温CVDにより成長した六方晶BN薄膜の発光特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Luminescence property of hexagonal boron nitride films grown by high-temperature CVD 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 六方晶窒化ホウ素 / hexagonal boron nitride  
キーワード(2)(和/英) CVD / CVD  
キーワード(3)(和/英) 薄膜 / thin film  
キーワード(4)(和/英) カソードルミネッセンス / cathodoluminescence  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 梅原 直己 / Naoki Umehara / ウメハラ ナオキ
第1著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 桑原 伊織 / Iori Kuwahara / クワハラ イオリ
第2著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 李 惠映 / Hye-Young Lee / イ ヘヨン
第3著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 光野 徹也 / Tetsuya Kouno / コウノ テツヤ
第4著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 小南 裕子 / Hiroko Kominami / コミナミ ヒロコ
第5著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 中西 洋一郎 / Yoichiro Nakanishi / ナカニシ ヨウイチロウ
第6著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 原 和彦 / Kazuhiko Hara / ハラ カズヒコ
第7著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
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講演者
発表日時 2014-01-24 14:18:00 
発表時間
申込先研究会 EID 
資料番号 IEICE-EID2013-14 
巻番号(vol) IEICE-113 
号番号(no) no.408 
ページ範囲 pp.25-28 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-EID-2014-01-17 


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