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講演抄録/キーワード
講演名 2014-01-24 14:26
トップダウンによる六角形状GaNマイクロディスクアレイからの光励起発振
鈴木 翔光野徹也静岡大)・山野晃司岸野克巳上智大)・原 和彦静岡大EID2013-15 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2013-15
抄録 (和) 電子線描画と反応性イオンエッチングにより、GaN薄膜を微細加工することで、一辺1.5 um、高さ900 nm程度の六角形状GaNマイクロディスクを、三角格子状に周期7.5 umで配列したマイクロディスクアレイを作製した。波長337.1 nm、パルス幅900 ps、周波数10 Hzの光励起下で、このマイクロディスクアレイから波長370 nm程度でのレーザー発振を得た。光共振器機構としては、各マイクロディスクでウィスパリングギャラリーモードが機能していると考えられる。トップダウン手法のみで六角形状に1.0 um程エッチングしたマイクロディスクがレーザー発振するという知見は、比較的シンプルな加工で発光領域の光子密度を上げられることを意味している。従って、これらの構造によって、高性能な発光デバイスの実現が期待される。 
(英) Hexagonal GaN microdisk array was fabricated by an electron-beam lithography and an inductively coupled plasma reactive ion etching technique. The side length and height of the hexagonal GaN microdisk were approximately 1.5 um and 900 nm, respectively. The array consisted of the microdisk with triangular lattice of 7.5 um period. The optically pumped lasing action was obtained from the microdisk array at a wavelength of approximately 370 nm under an excitation source of an N2 laser whose wavelength, pulse width, and repetition rate were 337.1 nm, 900 ps, and 10 Hz, respectively. The optical resonant system was assumed to be based on whispering galley mode family in a microdisk. This result shows that the microdisk array fabricated by top-down process with approximately 1.0 um depth has optical resonant modes contributing to lasing action, proving that even the simple structures exhibit light confinement. Such structures have potential to dramatically improve the performance of light emitting devices.
キーワード (和) GaN / マイクロディスク / ウィスパリングギャラリーモード / トップダウン手法 / / / /  
(英) GaN / Microdisk / Whispering Gallery Mode / Top-Down Process / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 113, no. 408, EID2013-15, pp. 29-31, 2014年1月.
資料番号 EID2013-15 
発行日 2014-01-17 (EID) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード EID2013-15 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2013-15

研究会情報
研究会 EID ITE-IDY IEIJ-SSL IEE-EDD SID-JC  
開催期間 2014-01-24 - 2014-01-25 
開催地(和) 新潟大学 駅南キャンパス 
開催地(英) Niigata University 
テーマ(和) 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 EID 
会議コード 2014-01-EID-IDY-SSL-EDD-JC 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) トップダウンによる六角形状GaNマイクロディスクアレイからの光励起発振 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Optically pumped lasing action in hexagonal GaN microdisk array fabricated via top-down process 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) GaN / GaN  
キーワード(2)(和/英) マイクロディスク / Microdisk  
キーワード(3)(和/英) ウィスパリングギャラリーモード / Whispering Gallery Mode  
キーワード(4)(和/英) トップダウン手法 / Top-Down Process  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 鈴木 翔 / Sho Suzuki / スズキ ショウ
第1著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 光野 徹也 / Tetsuya Kouno / コウノ テツヤ
第2著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 山野 晃司 / Koji Ynamano / コウジ ヤマノ
第3著者 所属(和/英) 上智大学 (略称: 上智大)
Sophia University (略称: Sophia Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 岸野 克巳 / Katsumi Kishino / キシノ カツミ
第4著者 所属(和/英) 上智大学 (略称: 上智大)
Sophia University (略称: Sophia Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 原 和彦 / Kazuhiko Hara / ハラ カズヒコ
第5著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
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講演者
発表日時 2014-01-24 14:26:00 
発表時間
申込先研究会 EID 
資料番号 IEICE-EID2013-15 
巻番号(vol) IEICE-113 
号番号(no) no.408 
ページ範囲 pp.29-31 
ページ数 IEICE-3 
発行日 IEICE-EID-2014-01-17 


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