講演抄録/キーワード |
講演名 |
2014-01-24 14:26
トップダウンによる六角形状GaNマイクロディスクアレイからの光励起発振 ○鈴木 翔・光野徹也(静岡大)・山野晃司・岸野克巳(上智大)・原 和彦(静岡大) EID2013-15 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2013-15 |
抄録 |
(和) |
電子線描画と反応性イオンエッチングにより、GaN薄膜を微細加工することで、一辺1.5 um、高さ900 nm程度の六角形状GaNマイクロディスクを、三角格子状に周期7.5 umで配列したマイクロディスクアレイを作製した。波長337.1 nm、パルス幅900 ps、周波数10 Hzの光励起下で、このマイクロディスクアレイから波長370 nm程度でのレーザー発振を得た。光共振器機構としては、各マイクロディスクでウィスパリングギャラリーモードが機能していると考えられる。トップダウン手法のみで六角形状に1.0 um程エッチングしたマイクロディスクがレーザー発振するという知見は、比較的シンプルな加工で発光領域の光子密度を上げられることを意味している。従って、これらの構造によって、高性能な発光デバイスの実現が期待される。 |
(英) |
Hexagonal GaN microdisk array was fabricated by an electron-beam lithography and an inductively coupled plasma reactive ion etching technique. The side length and height of the hexagonal GaN microdisk were approximately 1.5 um and 900 nm, respectively. The array consisted of the microdisk with triangular lattice of 7.5 um period. The optically pumped lasing action was obtained from the microdisk array at a wavelength of approximately 370 nm under an excitation source of an N2 laser whose wavelength, pulse width, and repetition rate were 337.1 nm, 900 ps, and 10 Hz, respectively. The optical resonant system was assumed to be based on whispering galley mode family in a microdisk. This result shows that the microdisk array fabricated by top-down process with approximately 1.0 um depth has optical resonant modes contributing to lasing action, proving that even the simple structures exhibit light confinement. Such structures have potential to dramatically improve the performance of light emitting devices. |
キーワード |
(和) |
GaN / マイクロディスク / ウィスパリングギャラリーモード / トップダウン手法 / / / / |
(英) |
GaN / Microdisk / Whispering Gallery Mode / Top-Down Process / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 113, no. 408, EID2013-15, pp. 29-31, 2014年1月. |
資料番号 |
EID2013-15 |
発行日 |
2014-01-17 (EID) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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