講演抄録/キーワード |
講演名 |
2013-12-13 09:00
パルス電圧ストレス下における酸化物TFTの発熱劣化解析 ○木瀬香保利(奈良先端大)・苫井重和(出光興産)・上岡義弘・山崎はるか・浦川 哲(奈良先端大)・矢野公規(出光興産)・Dapeng Wang・古田 守(高知工科大)・堀田昌宏・石河泰明・浦岡行治(奈良先端大) SDM2013-116 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2013-116 |
抄録 |
(和) |
近年,a-InGaZnOに代表される高移動度の透明アモルファス酸化物半導体(TAOS)が報告され,薄膜トランジスタのチャネル層として低消費電力な高精細ディスプレイの実現が期待されている.しかしながら,酸化物半導体は高い電子移動度を持つ一方で,熱や光に対する信頼性確保は不十分である.現在,透明でフレキシブルなディスプレイの作製にあたり,駆動素子はプラスチックまたはガラスなどの熱伝導率が低い基板上に作製されると予想されており,蓄積された熱は素子の劣化を促すという問題を抱えている.本研究では,ディスプレイのフレーム周波数に近似したパルス電流を印加して酸化物半導体TFTの熱劣化現象を解析した. |
(英) |
In recent years, transparent amorphous oxide semiconductor (TAOS), represented by a-InGaZnO have been reported. Because of of its high mobility, TAOS is expected as a channel layer of the thin-film transistor which can provide high resolution display with low power consumption. However, while having a high electron mobility, it is insufficient to ensure the reliability under the stress with heat and light for TAOS. TFTs of transparent flexible display are expected to be fabricated on low thermal conductive substrate, such as glass or plastic.These materials tend to accumulate heat that accelerate the degradation of the device. In this study, we analyzed the thermal degradation of the TAOS TFT by applying pulse voltage stress which is approximated to the frame frequency of the display. |
キーワード |
(和) |
パルスストレス / TAOS / 発熱劣化 / 発熱解析 / / / / |
(英) |
pulse stress / TAOS / thermal distribution / thermal analysis / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 113, no. 351, SDM2013-116, pp. 1-5, 2013年12月. |
資料番号 |
SDM2013-116 |
発行日 |
2013-12-06 (SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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