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講演抄録/キーワード
講演名 2013-12-13 10:00
液体ガラスを用いた量子井戸混晶化とその面発光レーザ応用に関する研究
阿久津友宏牛尾拓也菊池麻子松谷晃宏宮本智之東工大LQE2013-126 エレソ技報アーカイブへのリンク:LQE2013-126
抄録 (和) 液体ガラス(SOG)を用いた量子構造混晶化を面発光レーザに適用し,活性層内のキャリア閉じ込めを行った.ノンドープSOGを用いた混晶化は巨大なエネルギーシフトが可能であり,メサ側面に容易に膜形成することができる.プロセスは従来工程に膜形成および加熱をするだけという簡単なものである.その結果30μm径および15μm径の面発光レーザで発振に成功した.この手法により,微小構造の面発光レーザにおいて更なる特性改善が見込まれる. 
(英) The applicability of the quantum well intermixing using a spin-on-glass (SOG) to the fabrication process of a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) was investigated to control the carrier confinement in the active layer. The intermixing by using the non-doped SOG showed a large emission energy shift. The SOG coating of the mesa side-wall of the VCSEL and following heat-treatment are simple processes that can add to the conventional one. The fabricated VCSELs with a 30 μm-square mesa and 15μm-diameter mesa showed lasing operation, and therefore the technique can be applicable as the VCSEL process for improving the performance of the small mesa devices.
キーワード (和) 面発光レーザ / 量子構造混晶化 / 液体ガラス / / / / /  
(英) VCSEL / Quantum Well Intermixing / Spin-on-Glass / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 113, no. 352, LQE2013-126, pp. 7-10, 2013年12月.
資料番号 LQE2013-126 
発行日 2013-12-06 (LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード LQE2013-126 エレソ技報アーカイブへのリンク:LQE2013-126

研究会情報
研究会 LQE  
開催期間 2013-12-13 - 2013-12-13 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英)  
テーマ(和) 半導体レーザ関連技術,及び一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 LQE 
会議コード 2013-12-LQE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 液体ガラスを用いた量子井戸混晶化とその面発光レーザ応用に関する研究 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Quantum well intermixing using spin-on-glass and its application to VCSELs 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 面発光レーザ / VCSEL  
キーワード(2)(和/英) 量子構造混晶化 / Quantum Well Intermixing  
キーワード(3)(和/英) 液体ガラス / Spin-on-Glass  
キーワード(4)(和/英) /  
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キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 阿久津 友宏 / Tomohiro Akutsu / アクツ トモヒロ
第1著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 牛尾 拓也 / Takuya Ushio / ウシオ タクヤ
第2著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 菊池 麻子 / Asako Kikuchi / キクチ アサコ
第3著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 松谷 晃宏 / Akihiro Matsutani / マツタニ アキヒロ
第4著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 宮本 智之 / Tomoyuki Miyamoto / ミヤモト トモユキ
第5著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
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講演者
発表日時 2013-12-13 10:00:00 
発表時間 25 
申込先研究会 LQE 
資料番号 IEICE-LQE2013-126 
巻番号(vol) IEICE-113 
号番号(no) no.352 
ページ範囲 pp.7-10 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-LQE-2013-12-06 


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