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| 講演名 | 2013-11-28 16:15 MOVPE法によるGaN及びAlGaNへのCドーピングに関する研究 ○若杉侑矢・本田善央・天野 浩（名大）  ED2013-74 CPM2013-133 LQE2013-109 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2013-74 CPM2013-133 LQE2013-109 |
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| 抄録 | （和） | MOVPE法を用いてGaN及びAlGaNへのMgとCの同時ドーピングを行い、電気的、光学的特性を評価した。GaNへの同時ドーピングでは比較的低濃度のCドーピングにより正孔密度の増加が確認できたが、AlGaNにおいてはC2H2流量増加に伴い正孔密度は減少した。cathodeluminescence(CL)測定により、全ての試料で440 nm付近の発光を確認した。GaNへのMgとCのドーピングを行った試料に対して同様の測定を行った。MgとCの同時ドーピングは通常のMgドーピングよりも高い正孔密度を示した。 |
| （英） | We grew Mg/C co-doped GaN and AlGaN by MOVPE for identifying the C level in GaN and AlGaN. We measured electrical and optical properties by Hall effect measurement and cathodeluminescence (CL) measurement. Hole concentration in GaN increased with increase of C concentration at low C doping level, although that in AlGaN decreased with increase of C2H2 flow rate. All the samples show similar CL with peak wavelength of about 440nm. We also grew Mg/C delta co-doped GaN. Delta doping is found to be effective for realizing higher hole concentration than the conventional one. | |
| キーワード | （和） | GaN / AlGaN / C / Mg / ドーピング / MOVPE / / |
| （英） | GaN / AlGaN / C / Mg / doping / MOVPE / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 331, LQE2013-109, pp. 47-50, 2013年11月. | |
| 資料番号 | LQE2013-109 | |
| 発行日 | 2013-11-21 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2013-74 CPM2013-133 LQE2013-109 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2013-74 CPM2013-133 LQE2013-109 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM LQE ED |
| 開催期間 | 2013-11-28 - 2013-11-29 |
| 開催地（和） | 大阪大学 吹田キャンパス |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 窒化物及び混晶半導体デバイス、及び一般 |
| テーマ（英） | Ｎｉｔｒide and Compound Semiconductor Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2013-11-CPM-LQE-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | MOVPE法によるGaN及びAlGaNへのCドーピングに関する研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study on C doping in GaN and AlGaN by MOVPE |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | GaN / GaN |
| キーワード(2)（和/英） | AlGaN / AlGaN |
| キーワード(3)（和/英） | C / C |
| キーワード(4)（和/英） | Mg / Mg |
| キーワード(5)（和/英） | ドーピング / doping |
| キーワード(6)（和/英） | MOVPE / MOVPE |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 若杉 侑矢 / Yuya Wakasugi / ワカスギ ユウヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本田 善央 / Yoshio Honda / ホンダ ヨシオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 天野 浩 / Hiroshi Amano / アマノ ヒロシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-11-28 16:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | ED2013-74, CPM2013-133, LQE2013-109 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.329(ED), no.330(CPM), no.331(LQE) |
| ページ範囲 | pp.47-50 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2013-11-21 (ED, CPM, LQE) |
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