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講演抄録/キーワード
講演名 2013-11-28 13:20
バルクとSOTBにおけるアンテナダメージによるリングオシレータの発振周波数ばらつきの評価
岸田 亮籔内美智太郎大島 梓小林和淑京都工繊大
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抄録 (和) 近年の集積回路の微細化により、アンテナダメージによる信頼性の低下が懸念されている。
本稿ではリングオシレータにおいて発振経路の1ヶ所のみにアンテナを接続した回路で発振周波数を測定する。
チップはバルクとSOTB (Silicon On Thin BOX) 構造の2 つを用いて測定する。
測定した結果,アンテナダメージによる特性ばらつきの変動を確認することは出来なかった。
しかし,アンテナダメージによる発振周波数の低下を確認出来た。
バルクではアンテナをドレインにつなげることでダメージが緩和されることが分かった。
SOTB ではバルクよりもアンテナの周囲長の影響が出ることを確認した。 
(英) A degradation of reliability caused by plasma induced damage has become a significant concern with miniaturizing a device size.
In this paper, we measure frequencies of ring oscillators with an antenna structure on one stage.
We prepare bulk and SOTB (Silicon On Thin BOX) chips.
As a result, variations of oscillating frequency do not change by antenna structures.
But frequencies are decreased by plasma induced damage.
The damaged are relieved by connecting an antenna to a drain in bulk.
Perimeter lengths give more serious damage in SOTB than in bulk.
キーワード (和) アンテナ / ばらつき / SOTB / リングオシレータ / 発振周波数 / / /  
(英) Plasma Induced Damage / Variation / SOTB / Ring Oscillator / Frequency / / /  
文献情報 信学技報, vol. 113, no. 320, VLD2013-83, pp. 159-164, 2013年11月.
資料番号 VLD2013-83 
発行日 2013-11-20 (VLD, DC) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 VLD DC IPSJ-SLDM CPSY RECONF ICD CPM  
開催期間 2013-11-27 - 2013-11-29 
開催地(和) 鹿児島県文化センター 
開催地(英)  
テーマ(和) デザインガイア2013 -VLSI設計の新しい大地- 
テーマ(英) Design Gaia 2013 -New Field of VLSI Design- 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 VLD 
会議コード 2013-11-VLD-DC-SLDM-CPSY-RECONF-ICD-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) バルクとSOTBにおけるアンテナダメージによるリングオシレータの発振周波数ばらつきの評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Evaluations of Variations on Ring Oscillators from Plasma Induced Damage in Bulk and SOTB Processes 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) アンテナ / Plasma Induced Damage  
キーワード(2)(和/英) ばらつき / Variation  
キーワード(3)(和/英) SOTB / SOTB  
キーワード(4)(和/英) リングオシレータ / Ring Oscillator  
キーワード(5)(和/英) 発振周波数 / Frequency  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 岸田 亮 / Ryo Kishida / キシダ リョウ
第1著者 所属(和/英) 京都工芸繊維大学 (略称: 京都工繊大)
Kyoto Institute of Technology (略称: Kyoto Inst. of Tech.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 籔内 美智太郎 / Michitarou Yabuuchi / ヤブウチ ミチタロウ
第2著者 所属(和/英) 京都工芸繊維大学 (略称: 京都工繊大)
Kyoto Institute of Technology (略称: Kyoto Inst. of Tech.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 大島 梓 / Azusa Oshima / オオシマ アズサ
第3著者 所属(和/英) 京都工芸繊維大学 (略称: 京都工繊大)
Kyoto Institute of Technology (略称: Kyoto Inst. of Tech.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 小林 和淑 / Kazutoshi Kobayashi / コバヤシ カズトシ
第4著者 所属(和/英) 京都工芸繊維大学 (略称: 京都工繊大)
Kyoto Institute of Technology (略称: Kyoto Inst. of Tech.)
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講演者
発表日時 2013-11-28 13:20:00 
発表時間 25 
申込先研究会 VLD 
資料番号 IEICE-VLD2013-83,IEICE-DC2013-49 
巻番号(vol) IEICE-113 
号番号(no) no.320(VLD), no.321(DC) 
ページ範囲 pp.159-164 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-VLD-2013-11-20,IEICE-DC-2013-11-20 


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