講演抄録/キーワード |
講演名 |
2013-08-09 09:00
超高性能デジタルマイクロフォンセンサのためのInP基板へのMEMSマイクロフォン作製プロセス ○藤野舜也・水野雄太・高岡和央・森 雅之・前澤宏一(富山大) ED2013-44 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2013-44 |
抄録 |
(和) |
本論文では, InP基板上におけるMEMSマイクロフォンの製造プロセスについて述べた. このプロセスは, 中空構造を作製するためのフォトレジストのオゾンアッシングに基づいている. このプロセスは損傷がなくHEMTとの集積化に適している. |
(英) |
This paper describes the fabrication process of the MEMS microphones on InP substrates. The process is based on ozone ashing of the photoresist to fabricate a hollow structure. This process was demonstrated to be damage-free, and suitable for integration with HEMTs. |
キーワード |
(和) |
超音波センサ / ADコンバータ / ΔΣ変調器 / 高電子移動度トランジスタ / コンデンサマイクロフォン / InP / / |
(英) |
ultrasonic sensor / analog-to-digital converter / delta-sigma modulation / high electron mobility transistor / condenser microphone / InP / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 113, no. 176, ED2013-44, pp. 33-36, 2013年8月. |
資料番号 |
ED2013-44 |
発行日 |
2013-08-01 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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