講演抄録/キーワード |
講演名 |
2013-07-18 11:25
放射光エッチングによる180GHz帯テフロン導波管の試作と評価 ○岸原充佳(岡山県立大)・木戸秀樹・山口明啓・内海裕一・太田 勲(兵庫県立大) MW2013-64 OPE2013-33 EST2013-28 MWP2013-23 エレソ技報アーカイブへのリンク:MW2013-64 OPE2013-33 EST2013-28 MWP2013-23 |
抄録 |
(和) |
本論文は,放射光直接エッチング,金属のスパッタ蒸着,電解めっきのプロセスを経て行う180GHz帯テフロン(PTFE)導波管の試作とその評価結果について述べている.放射光の直接照射で微細テフロン構造が形成できることは,これまでに報告されている.テフロン導波管の製作プロセスを概説した後に,本論文では,180GHz帯で動作する直線およびマイターベンド導波管の試作を行っている.また,測定用の180GHzテフロン導波管フランジについても,同様の製作プロセスで試作している.試作したテフロン導波管の伝送特性の測定結果を示すと共に,異なる長さのテフロン導波管に対する測定結果を用いて伝送損失の評価を行っている. |
(英) |
This paper describes trial fabrication of a PTFE-filled waveguide for 180 GHz-band operation with the use of the SR (synchrotron radiation) direct etching process of PTFE, sputter deposition of metal, and electroplating. It has been reported that PTFE microstructures can be fabricated by the direct exposure to SR. In this paper, the fabrication procedure for the PTFE-filled waveguide is briefly reviewed and the trial fabrication of the straight and the mitered-bend sections for 180 GHz operation is attempted. A waveguide flange for the 180 GHz PTFE-filled waveguide is also fabricated in the same process. The measured frequency characteristics of the PTFE-filled waveguides are shown, and the propagation losses are evaluated using the measurement results of the PTFE-filled waveguides with different lengths. |
キーワード |
(和) |
X線リソグラフィ / スパッタリング / 導波管コンポーネント / 誘電体導波路 / / / / |
(英) |
X-ray lithography / sputtering / waveguide components / dielectric loaded waveguides / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 113, no. 141, MW2013-64, pp. 103-108, 2013年7月. |
資料番号 |
MW2013-64 |
発行日 |
2013-07-11 (MW, OPE, EST, MWP) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
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