| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-06-21 10:35 300 mm基板上にArF液侵リソグラフィーを用いて作製したシリコンフォトニクスデバイス ○北 智洋・田主裕一朗・奈良匡樹・平野 秀（東北大）・外山宗博・関 三好・越野圭二・横山信幸・大塚 実・杉山曜宣・石塚栄一・佐野 作・堀川 剛（産総研）・山田博仁（東北大）  OPE2013-7 LQE2013-17 エレソ技報アーカイブへのリンク：OPE2013-7 LQE2013-17 |
|
| 抄録 | （和） | ArF液侵リソグラフィー技術を用いて300 mm SOIウェハ上にチャネル型シリコン細線導波路,方向性結合器,リング共振器を作製し,光学特性を評価した.評価結果は数値計算結果との良い一致を示し,シリコンフォトニクスデバイス作製に本プロセス工程を用いることの有効性が確認された. |
| （英） | We have investigated optical characteristics of Si photonics devices formed on 300 mm SOI wafers by using ArF immersion lithography process. The measurement results were in good agreement with the calculated results for designed structure and the process accuracy for silicon photonics devices were verified. | |
| キーワード | （和） | シリコンフォトニクス / 方向性結合器 / リング共振器 / / / / / |
| （英） | Silicon Photonics / Directional Coupler / Ring resonator / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 99, OPE2013-7, pp. 1-5, 2013年6月. | |
| 資料番号 | OPE2013-7 | |
| 発行日 | 2013-06-14 (OPE, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OPE2013-7 LQE2013-17 エレソ技報アーカイブへのリンク：OPE2013-7 LQE2013-17 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE OPE |
| 開催期間 | 2013-06-21 - 2013-06-21 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | アクティブデバイスと集積化技術、一般 「材料デバイスサマーミーティング」 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2013-06-LQE-OPE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 300 mm基板上にArF液侵リソグラフィーを用いて作製したシリコンフォトニクスデバイス |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Silicon photonics devices on 300 mm wafer fabricated by using ArF immersion lithography |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコンフォトニクス / Silicon Photonics |
| キーワード(2)（和/英） | 方向性結合器 / Directional Coupler |
| キーワード(3)（和/英） | リング共振器 / Ring resonator |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 北 智洋 / Tomohiro Kita / キタ トモヒロ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田主 裕一朗 / Yuichiro Tanushi / タヌシ ユウイチロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 奈良 匡樹 / Masaki Nara / ナラ マサキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平野 秀 / Syu Hirano / ヒラノ シュウ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 外山 宗博 / Munehiro Toyama / トヤマ ムネヒロ |
| 第5著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 関 三好 / Miyoshi Seki / セキ ミヨシ |
| 第6著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 越野 圭二 / Keiji Koshino / コシノ ケイジ |
| 第7著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 横山 信幸 / Nobuyuki Yokoyama / ヨコヤマ ノブユキ |
| 第8著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大塚 実 / Minoru Ohtsuka / オオツカ ミノル |
| 第9著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 杉山 曜宣 / Akinobu Sugiyama / スギヤマ アキノブ |
| 第10著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石塚 栄一 / Eiichi Ishitsuka / イシズカ エイイチ |
| 第11著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐野 作 / Tsukuru Sano / サノ ツクル |
| 第12著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | 堀川 剛 / Tsuyoshi Horikawa / ホリカワ ツヨシ |
| 第13著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山田 博仁 / Hirohito Yamada / ヤマダ ヒロヒト |
| 第14著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第15著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第16著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第17著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-06-21 10:35:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OPE2013-7, LQE2013-17 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.99(OPE), no.100(LQE) |
| ページ範囲 | pp.1-5 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2013-06-14 (OPE, LQE) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]