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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-06-18 15:30 ［依頼講演］SiCパワーMOSFET向け高誘電率ゲート絶縁膜技術 ○細井卓治（阪大）・東雲秀司・柏木勇作・保坂重敏（東京エレクトロン）・中村亮太・中野佑紀・浅原浩和・中村 孝（ローム）・木本恒暢（京大）・志村考功・渡部平司（阪大）  SDM2013-59 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2013-59 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 87, SDM2013-59, pp. 77-80, 2013年6月. | |
| 資料番号 | SDM2013-59 | |
| 発行日 | 2013-06-11 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2013-59 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2013-59 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2013-06-18 - 2013-06-18 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜およびメモリ技術（応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会との合同開催） |
| テーマ（英） | Science and Technology for Dielectric Thin Films for Electron Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2013-06-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | SiCパワーMOSFET向け高誘電率ゲート絶縁膜技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Implementation of High-k Gate Dielectrics in SiC Power MOSFET |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 細井 卓治 / Takuji Hosoi / ホソイ タクジ |
| 第1著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 東雲 秀司 / Shuji Azumo / アズモ シュウジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン (略称： 東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited (略称： Tokyo Electron) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柏木 勇作 / Yusaku Kashiwagi / カシワギ ユウサク |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン (略称： 東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited (略称： Tokyo Electron) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 保坂 重敏 / Shigetoshi Hosaka / ホサカ シゲトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン (略称： 東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited (略称： Tokyo Electron) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中村 亮太 / Ryota Nakamura / ナカムラ リョウタ |
| 第5著者 所属（和/英） | ローム (略称： ローム) ROHM (略称： ROHM) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中野 佑紀 / Yuki Nakano / ナカノ ユウキ |
| 第6著者 所属（和/英） | ローム (略称： ローム) ROHM (略称： ROHM) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 浅原 浩和 / Hirokazu Asahara / アサハラ ヒロカズ |
| 第7著者 所属（和/英） | ローム (略称： ローム) ROHM (略称： ROHM) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中村 孝 / Takashi Nakamura / ナカムラ タカシ |
| 第8著者 所属（和/英） | ローム (略称： ローム) ROHM (略称： ROHM) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 木本 恒暢 / Tsunenobu Kimoto / キモト ツネノブ |
| 第9著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 志村 考功 / Takayoshi Shimura / シムラ タカヨシ |
| 第10著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡部 平司 / Heiji Watanabe / ワタナベ ヘイジ |
| 第11著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第12著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-06-18 15:30:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2013-59 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.87 |
| ページ範囲 | pp.77-80 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2013-06-11 (SDM) |
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