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講演抄録/キーワード
講演名 2013-05-17 16:35
BCB貼付け法によるSi基板上MSM型InGaAs光検出器のGHz応答
前北和晃丸山武男飯山宏一金沢大LQE2013-15 エレソ技報アーカイブへのリンク:LQE2013-15
抄録 (和) シリコンゴトニクスを実現するためには,シリコンプラットフォーム上に受発光素子を集積化する技術が必要となる.本研究では,ベンゾシクロブテン (BCB) 貼り付け法を用いてSi基板上にInGaAsを光吸収層とした金属-半導体-金属(MSM)光検出器を作製した.波長1.55 umにおいて特性を評価した結果,6 V印加時で暗電流29 nA,15 V印加時で感度0.038 A/W,帯域3 GHzが得られた. 
(英) To realize an optical interconnect, it is necessary to integrate light sources and photodetectors on the silicon platform. We fabricated an InGaAs metal-semiconductor-metal (MSM) photodetector bonded on Si substrate by Benzocyclobutene (BCB) bonding method. Fabricated InGaAs MSM photodetector was characterized at the wavelength of 1.55 um. At the bias voltage of -6 V, the dark current of 29 nA was obtained. At the bias voltage of 15 V, the responsivity and bandwidth was 0.035 A/W and 3GHz, respectively.
キーワード (和) BCB貼り付け / InGaAs / MSM光検出器 / シリコンフォトニクス / 高周波応答 / / /  
(英) BCB bonding / InGaAs / MSM photodetector / Silicon photonics / High frequency response / / /  
文献情報 信学技報, vol. 113, no. 49, LQE2013-15, pp. 67-70, 2013年5月.
資料番号 LQE2013-15 
発行日 2013-05-10 (LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード LQE2013-15 エレソ技報アーカイブへのリンク:LQE2013-15

研究会情報
研究会 LQE LSJ  
開催期間 2013-05-17 - 2013-05-17 
開催地(和) 金沢大学角間キャンパス 
開催地(英)  
テーマ(和) 量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 LQE 
会議コード 2013-05-LQE-LSJ 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) BCB貼付け法によるSi基板上MSM型InGaAs光検出器のGHz応答 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) GHz Response of MSM InGaAs Photodetector on Si Substrate by BCB Bonding 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) BCB貼り付け / BCB bonding  
キーワード(2)(和/英) InGaAs / InGaAs  
キーワード(3)(和/英) MSM光検出器 / MSM photodetector  
キーワード(4)(和/英) シリコンフォトニクス / Silicon photonics  
キーワード(5)(和/英) 高周波応答 / High frequency response  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 前北 和晃 / Kazuaki Maekita / マエキタ カズアキ
第1著者 所属(和/英) 金沢大学 (略称: 金沢大)
Kanazawa University (略称: Kanazawa Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 丸山 武男 / Takeo Maruyama / マルヤマ タケオ
第2著者 所属(和/英) 金沢大学 (略称: 金沢大)
Kanazawa University (略称: Kanazawa Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 飯山 宏一 / Koichi Iiyama / イイヤマ コウイチ
第3著者 所属(和/英) 金沢大学 (略称: 金沢大)
Kanazawa University (略称: Kanazawa Univ.)
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講演者
発表日時 2013-05-17 16:35:00 
発表時間 25 
申込先研究会 LQE 
資料番号 IEICE-LQE2013-15 
巻番号(vol) IEICE-113 
号番号(no) no.49 
ページ範囲 pp.67-70 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-LQE-2013-05-10 


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