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講演抄録/キーワード
講演名 2013-05-16 13:55
4H-SiC中の深い準位を形成する欠陥構造の同定の試み
中根浩貴加藤正史市村正也名工大)・大島 武原子力機構エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2013-17 CPM2013-2 SDM2013-24
抄録 (和) SiCデバイスの性能向上には、キャリアライフタイムの制御方法の確立が必要である。そのためには深い準位の物理的起源の理解が重要である。本研究では電子線照射を施して意図的に欠陥を導入した4H-SiCに対し、様々な温度で熱処理を加え、深い準位の評価を行った。その結果を、過去に報告のある点欠陥の熱処理温度に対する濃度推移と比較し、深い準位の欠陥構造の同定を試みた。 
(英) (Available after conference date)
キーワード (和) SiC / キャリアライフタイム / 深い準位 / DLTS法 / PICTS法 / / /  
(英) / / / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 113, no. 39, ED2013-17, pp. 7-12, 2013年5月.
資料番号 ED2013-17 
発行日 2013-05-09 (ED, CPM, SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)

研究会情報
研究会 SDM ED CPM  
開催期間 2013-05-16 - 2013-05-17 
開催地(和) 静大(浜松)創造科学技術大学院 
開催地(英) Shizuoka Univ. (Hamamatsu) Graduate School of Sci. and Technol. 
テーマ(和) 結晶成長、評価及びデバイス(化合物、Si、SiGe、電子・光材料) 
テーマ(英) Crystal Growth, Characterization, Device, etc (compound semiconductors, Si, SiGe, optical and electronic materials) 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2013-05-SDM-ED-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 4H-SiC中の深い準位を形成する欠陥構造の同定の試み 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Identification of defect structures forming the deep levels in 4H-SiC 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) SiC /  
キーワード(2)(和/英) キャリアライフタイム /  
キーワード(3)(和/英) 深い準位 /  
キーワード(4)(和/英) DLTS法 /  
キーワード(5)(和/英) PICTS法 /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 中根 浩貴 / Hiroki Nakane / ナカネ ヒロキ
第1著者 所属(和/英) 名古屋工業大学 (略称: 名工大)
Nagoya Institute of technology (略称: Nagoya Inst. of Tech.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 加藤 正史 / Masashi Kato / カトウ マサシ
第2著者 所属(和/英) 名古屋工業大学 (略称: 名工大)
Nagoya Institute of technology (略称: Nagoya Inst. of Tech.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 市村 正也 / Masaya Ichimura / イチムラ マサヤ
第3著者 所属(和/英) 名古屋工業大学 (略称: 名工大)
Nagoya Institute of technology (略称: Nagoya Inst. of Tech.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 大島 武 / Takeshi Ohshima / オオシマ タケシ
第4著者 所属(和/英) 日本原子力研究開発機構 (略称: 原子力機構)
Japan Atomic Energy Agency (略称: JAEA)
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講演者
発表日時 2013-05-16 13:55:00 
発表時間 25 
申込先研究会 ED 
資料番号 IEICE-ED2013-17,IEICE-CPM2013-2,IEICE-SDM2013-24 
巻番号(vol) IEICE-113 
号番号(no) no.39(ED), no.40(CPM), no.41(SDM) 
ページ範囲 pp.7-12 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-ED-2013-05-09,IEICE-CPM-2013-05-09,IEICE-SDM-2013-05-09 


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