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| 講演名 | 2013-02-27 17:20 InAsナノワイヤの電界アシスト自己整合堆積プロセス ○船山裕晃・渡邉龍郎・道又賢司・和保孝夫・村上 新・下村和彦（上智大）  ED2012-136 SDM2012-165 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2012-136 SDM2012-165 |
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| 抄録 | （和） | 電界アシスト自己堆積プロセス(FASA)を用いてInAs ナノワイヤ をSi基板上に堆積した。InAs ナノワイヤ及びInAs/InP コアシェルナノワイヤに関して、FASA歩留まりの周波数依存性を比較した。また、FASAによりナノワイヤをクロス型に堆積することを試みた。さらに、nMOSFETとナノワイヤを用いたインバータを作製し、回路動作を確認した。 |
| （英） | Field-assisted self-assembly process (FASA) of InAs and InAs/InP core-shell nanowires onto a Si substrate has been investigated. The dependence of the FASA yield on the frequency of the AC voltage applied between the FASA electrodes is examined. Furthermore, nanowires are deposited onto a MOS substrate to obtain an nMOS inverter. It is confirmed that the inverter operates properly. | |
| キーワード | （和） | ナノワイヤ / 自己整合堆積プロセス / InAs / InP / / / / |
| （英） | nanowire / field-assisted self-assembly / InAs / InP / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 445, ED2012-136, pp. 43-46, 2013年2月. | |
| 資料番号 | ED2012-136 | |
| 発行日 | 2013-02-20 (ED, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2012-136 SDM2012-165 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2012-136 SDM2012-165 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM ED |
| 開催期間 | 2013-02-27 - 2013-02-28 |
| 開催地（和） | 北海道大学（百年記念会館） |
| 開催地（英） | Hokkaido Univ. |
| テーマ（和） | 機能ナノデバイスおよび関連技術 |
| テーマ（英） | Functional nanodevices and related technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2013-02-SDM-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | InAsナノワイヤの電界アシスト自己整合堆積プロセス |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Field-Assisted Self -Assembly Process of InAs nanowires |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ナノワイヤ / nanowire |
| キーワード(2)（和/英） | 自己整合堆積プロセス / field-assisted self-assembly |
| キーワード(3)（和/英） | InAs / InAs |
| キーワード(4)（和/英） | InP / InP |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 船山 裕晃 / Hiroaki Funayama / フナヤマ ヒロアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 上智大学 (略称： 上智大) Sophia University (略称： Sophia Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡邉 龍郎 / Tatsuro Watanabe / ワタナベ タツロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 上智大学 (略称： 上智大) Sophia University (略称： Sophia Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 道又 賢司 / Kenji Michimata / ミチマタ ケンジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 上智大学 (略称： 上智大) Sophia University (略称： Sophia Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 和保 孝夫 / Takao Waho / ワホ タカオ |
| 第4著者 所属（和/英） | 上智大学 (略称： 上智大) Sophia University (略称： Sophia Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 村上 新 / Shin Murakami / ムラカミ シン |
| 第5著者 所属（和/英） | 上智大学 (略称： 上智大) Sophia University (略称： Sophia Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下村 和彦 / Kazuhiko Shimomura / シモムラ カズヒコ |
| 第6著者 所属（和/英） | 上智大学 (略称： 上智大) Sophia University (略称： Sophia Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-02-27 17:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2012-136, SDM2012-165 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.445(ED), no.446(SDM) |
| ページ範囲 | pp.43-46 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2013-02-20 (ED, SDM) |
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