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講演抄録/キーワード
講演名 2013-01-24 15:08
Alq3膜上へのスパッタリング薄膜の作製とその発光効率への影響
稲富雅彰飯村靖文東京農工大EID2012-20 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2012-20
抄録 (和) 現在、有機ELディスプレイは液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどの他のディスプレイに対して、高コントラスト、高視野角、高速応答、薄型・軽量などの優れた特徴を持つことから、研究・開発が盛んに行われている。また、フレキシブルディスプレイや面発光照明などへの応用が期待されている。開口率を大きく取れるトップエミッション型の有機EL素子は、素子の構造上、有機膜上に透明導電膜を作製しなくてはいけないが、通常の成膜方法では有機膜に大きなダメージを与えてしまう。この有機膜へのダメージは、素子の発光効率の低下や駆動電圧の上昇などの動作上大きな問題を引き起こしてしまう。今回、基板表面へのスパッタダメージを抑制するバイアス印加型スパッタ装置を用いて、有機膜上にスパッタリング薄膜を作製し、有機膜の発光効率の観点からスパッタダメージの評価を行った。 
(英) Organic light-emitting diodes (OLEDs) have been recognized to show superior display properties than other display modes such as liquid crystal displays. Various research works on this topic have been conducted aiming at the applications to flexible displays, flat illumination sources, and so on. Top-emitting organic light-emitting diodes have a large aperture ratio, but transparent conductive films such as ITO have to be prepared on the organic films by a sputtering method which would severely damage organic films. This damage to organic films causes a decrease in emission efficiency and a increase in operating voltage of the device. In this study, we use a biased sputtering method for depositing transparent conductive films on Alq3 layer, and evaluated the sputtering damage from the viewpoint of the light emission efficiency of organic films.
キーワード (和) 有機EL / スパッタ法 / 透明導電膜 / 発光効率 / / / /  
(英) Organic light-emitting diodes / Sputtering / Transparent conductive film / Emission efficiency / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 112, no. 409, EID2012-20, pp. 45-48, 2013年1月.
資料番号 EID2012-20 
発行日 2013-01-17 (EID) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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PDFダウンロード EID2012-20 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2012-20

研究会情報
研究会 ITE-IDY EID IEE-EDD  
開催期間 2013-01-24 - 2013-01-25 
開催地(和) 静岡大学 
開催地(英) Shizuoka Univ. 
テーマ(和) 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会(照明学会固体光源分科会,SID日本支部共催) 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 EID 
会議コード 2013-01-IDY-EID-EDD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) Alq3膜上へのスパッタリング薄膜の作製とその発光効率への影響 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Preparation of Sputtering Thin Films on Alq3 and its Effect on Light Emission Properties 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 有機EL / Organic light-emitting diodes  
キーワード(2)(和/英) スパッタ法 / Sputtering  
キーワード(3)(和/英) 透明導電膜 / Transparent conductive film  
キーワード(4)(和/英) 発光効率 / Emission efficiency  
キーワード(5)(和/英) /  
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キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 稲富 雅彰 / Masaaki Inatomi / イナトミ マサアキ
第1著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. of A and T)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 飯村 靖文 / Yasufumi Iimura / イイムラ ヤスフミ
第2著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. of A and T)
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講演者
発表日時 2013-01-24 15:08:00 
発表時間
申込先研究会 EID 
資料番号 IEICE-EID2012-20 
巻番号(vol) IEICE-112 
号番号(no) no.409 
ページ範囲 pp.45-48 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-EID-2013-01-17 


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