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| 講演名 | 2012-12-17 11:50 擬似ホール効果を利用したMOSFET型応力検出素子の特性評価 ○梅津哲也・原田知親・奥山澄雄・松下浩一（山形大）  ICD2012-89 エレソ技報アーカイブへのリンク：ICD2012-89 |
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| 抄録 | （和） | 現在の集積回路では，Siチップを保護するためにパッケージングが施されるが，それによってチップ内に応力が発生する場合がある．それによって生じる故障や回路特性の変化が問題となるため，パッケージ内部のチップに印加される応力の評価が必要となる．しかし，現存する応力検出素子では，回路とは別の領域に集積化する必要があり，集積化面積が増える。そこで，擬似ホール効果を利用したMOSFET型応力検出素子を用いることで，回路と一体化して集積回路への組み込みが可能となるため，集積化面積を増やさずに計測できる．本研究では，擬似ホール効果を応力検出原理としたMOSFET型応力検出素子の応力検出動作の検討と，素子の測定評価をおこなった． |
| （英） | Recently, most of the LSI chip applies packaging process for protecting Si chip, but internal stress in Si chip may be generated. It is necessary to measure and evaluate internal stress, because the characteristics of circuit may be damaged or changed. However, integration area increases with the existing strain sensor because it can't integrate with other circuits. So, by using the MOSFET type stress detection element that utilizes the pseudo-Hall effect, it can be integrated without increasing integration area. In this paper, we design, analyze and evaluate a strain sensor based on MOSFET using pseudo-Hall effect. | |
| キーワード | （和） | 擬似ホール効果 / MOSFET / 歪みセンサ / / / / / |
| （英） | Pseudo-Hall Effect / MOSFET / Strain Sensor / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 365, ICD2012-89, pp. 11-16, 2012年12月. | |
| 資料番号 | ICD2012-89 | |
| 発行日 | 2012-12-10 (ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ICD2012-89 エレソ技報アーカイブへのリンク：ICD2012-89 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
| 開催期間 | 2012-12-17 - 2012-12-18 |
| 開催地（和） | 東工大蔵前会館 ロイアルブルーホール |
| 開催地（英） | Tokyo Tech Front |
| テーマ（和） | 学生・若手研究会 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2012-12-ICD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 擬似ホール効果を利用したMOSFET型応力検出素子の特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | An Analysis and Evaluation of MOSFET Strain Sensor Using Pseudo-Hall Effect |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 擬似ホール効果 / Pseudo-Hall Effect |
| キーワード(2)（和/英） | MOSFET / MOSFET |
| キーワード(3)（和/英） | 歪みセンサ / Strain Sensor |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 梅津 哲也 / Tetsuya Umetsu / ウメツ テツヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 原田 知親 / Tomochika Harada / ハラダ トモチカ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 奥山 澄雄 / Sumio Okuyama / オクヤマ スミオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松下 浩一 / Koichi Matsushita / |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-12-17 11:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | ICD2012-89 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.365 |
| ページ範囲 | pp.11-16 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2012-12-10 (ICD) |
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