講演抄録/キーワード |
講演名 |
2012-12-07 13:45
低価格に適したX線検出素子(Silicon Drift Detector)の提案 ○岡田亮太・松谷一輝・松浦秀治(阪電通大) SDM2012-126 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2012-126 |
抄録 |
(和) |
環境問題の高まりから有害物質に対する規制が多く設けられ,有害物質検査の短時間化を計るために,可搬できる蛍光X線検出器が望まれている.当研究室では,市販されているX線検出素子である約18本のリングを持つSDD(Silicon Drift Detector)の簡素化に着目した.Si表面の保護酸化膜中に含まれる固定電荷の影響を考慮し,酸化膜上にゲート電極を蒸着させた構造であるgated SDD(GSDD)を提案している.このGSDDは低価格化に適した構造である.今回はゲート電極の間隔に着目し,高エネルギーX線に適した構造と低エネルギーX線に適した構造を検討する. |
(英) |
Several regulations for hazardous substances have been enforced due to the increase of awareness of environmental issues.To reduce those measurement times, portable X-ray fluorescence instruments are required. We focus on the simplification of commercial X-ray detectors with approximate 18 rings (SDD: Silicon Drift Detector).We consider the influence of fixed positive charges in passivating oxide layers, and have proposed a gated SDD, referred to as GSDD, in which gate electrodes are deposited on the oxide layer. The GSDD can reduce the cost of X-ray detectors. In this study, by changing gaps between the gate electrodes, we design the GSDD structures feasible for high energy and low energy X-rays. |
キーワード |
(和) |
Silicon Drift Detector / X線検出素子 / 低価格 / / / / / |
(英) |
Silicon Drift Detector / X-ray Detector / Low-Cost Detector / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 112, no. 337, SDM2012-126, pp. 65-70, 2012年12月. |
資料番号 |
SDM2012-126 |
発行日 |
2012-11-30 (SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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