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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-11-30 11:50 サファイア基板上へのモスアイ構造の形成方法の検討およびLEDへの応用 ○土屋貴義・梅田慎也・曽和美保子（名城大）・近藤俊行・北野 司・森 みどり・鈴木敦志・難波江宏一・関根 均（エルシード）・岩谷素顕・竹内哲也・上山 智・赤サキ 勇（名城大）  ED2012-82 CPM2012-139 LQE2012-110 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2012-82 CPM2012-139 LQE2012-110 |
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| 抄録 | （和） | LEDおいて高い光取り出し効率が期待されるモスアイ加工サファイア基板(Moth-eye patterned sapphire substrate; MPSS)を作製するため、サファイアに対して高いエッチング選択比を得るためのドライエッチング工程の検討を実施した。また、結晶成長に適したコーン形状に制御可能なドライエッチング条件の検討を行った。さらに周期を460nmに固定し、コーンの高さを250nm、300nm、350nmとしたMPSSを作製し、MPSS上の青色LEDの光取り出し効率の比較を行った。コーン高さによる光取り出し効率の依存性はほとんど見られず、いずれも未加工のサファイア基板と比較して約1.4倍に向上することがわかった。 |
| （英） | Fabrication processes of a moth-eye patterned sapphire substrate (MPSS), which can enhance a light extraction efficiency of nitride-based light emitting diodes (LEDs) have been examined. Optimization of structural parameters of MPSS for high-quality GaN growth was also performed. Then, we fabricated MPSS samples with a fixed pitch 460nm, and a height of corns of 250, 300 and 350nm. Light extraction efficiency of blue-LEDs growth on a series of MPSS was enhanced 1.4 times as compared with the devices grown on a flat sapphire substrate, while there is no dependence of height of corns on LED performance. |
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| キーワード | （和） | PSS / Moth-eye / UVナノインプリントリソグラフィー / ドライエッチング / LED / / / |
| （英） | PSS / Moth-eye / UV-nanoimprinting technique / Dry etching / LEDs / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 329, LQE2012-110, pp. 75-80, 2012年11月. | |
| 資料番号 | LQE2012-110 | |
| 発行日 | 2012-11-22 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2012-82 CPM2012-139 LQE2012-110 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2012-82 CPM2012-139 LQE2012-110 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED LQE CPM |
| 開催期間 | 2012-11-29 - 2012-11-30 |
| 開催地（和） | 大阪市立大学 |
| 開催地（英） | Osaka City University |
| テーマ（和） | 窒化物及び混晶半導体デバイス、及び一般 |
| テーマ（英） | Ｎｉｔｒide and Compound Semiconductor Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2012-11-ED-LQE-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | サファイア基板上へのモスアイ構造の形成方法の検討およびLEDへの応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of moth-eye patterned sapphire substrate (MPSS) and its application to LEDs |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | PSS / PSS |
| キーワード(2)（和/英） | Moth-eye / Moth-eye |
| キーワード(3)（和/英） | UVナノインプリントリソグラフィー / UV-nanoimprinting technique |
| キーワード(4)（和/英） | ドライエッチング / Dry etching |
| キーワード(5)（和/英） | LED / LEDs |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 土屋 貴義 / Takayoshi Tsuchiya / ツチヤ タカヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 梅田 慎也 / Shinya Umeda / ウメダ シンヤ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 曽和 美保子 / Mihoko Sowa / ソワ ミホコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 近藤 俊行 / Toshiyuki Kondo / コンドウ トシユキ |
| 第4著者 所属（和/英） | エルシード株式会社 (略称： エルシード) ELSEED Corp. (略称： ELSEED) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 北野 司 / Tsukasa Kitano / キタノ ツカサ |
| 第5著者 所属（和/英） | エルシード株式会社 (略称： エルシード) ELSEED Corp. (略称： ELSEED) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森 みどり / Midori Mori / モリ ミドリ |
| 第6著者 所属（和/英） | エルシード株式会社 (略称： エルシード) ELSEED Corp. (略称： ELSEED) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 敦志 / Atsushi Suzuki / スズキ アツシ |
| 第7著者 所属（和/英） | エルシード株式会社 (略称： エルシード) ELSEED Corp. (略称： ELSEED) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 難波江 宏一 / Koichi Naniwae / ナニワエ コウイチ |
| 第8著者 所属（和/英） | エルシード株式会社 (略称： エルシード) ELSEED Corp. (略称： ELSEED) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 関根 均 / Hitoshi Sekine / セキネ ヒトシ |
| 第9著者 所属（和/英） | エルシード株式会社 (略称： エルシード) ELSEED Corp. (略称： ELSEED) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩谷 素顕 / Motoaki Iwaya / イワヤ モトアキ |
| 第10著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹内 哲也 / Tetsuya Takeuchi / タケウチ テツヤ |
| 第11著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上山 智 / Satoshi Kamiyama / カミヤマ サトシ |
| 第12著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | 赤サキ 勇 / Isamu Akasaki / アカサキ イサム |
| 第13著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-11-30 11:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | ED2012-82, CPM2012-139, LQE2012-110 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.327(ED), no.328(CPM), no.329(LQE) |
| ページ範囲 | pp.75-80 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2012-11-22 (ED, CPM, LQE) |
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