講演抄録/キーワード |
講演名 |
2012-10-18 13:05
Si CMOS基板上ミリ波帯スパイラルインダクタとキャパシタの電磁界解析および実測評価 ○住田崇史・平野拓一・岡田健一・広川二郎・安藤 真(東工大) MW2012-89 エレソ技報アーカイブへのリンク:MW2012-89 |
抄録 |
(和) |
RF回路設計に必須な基本素子の1つであるミリ波帯オンチップスパイラルインダクタ,MIM(Metal-Insulator-Metal)キャパシタの電磁界解析と実測の比較を行った。電磁界シミュレーターには有限要素法に基づくAnsoft HFSSを用いた。マイクロストリップ線路の励振モデルとしてLumped Port(電圧給電),WavePort(導波管給電)、およびそれらにThru-Line De-embbedingの手法を用いることで励振モデルによる影響を考察し実測との比較を行った。Thru-Line De-embeddingを用いた結果はLumped Port、Wave Port給電のどちらでもSパラが一致し、実測値と良好な一致が見られた。 |
(英) |
The electromagnetic (EM) modeling and EM simulation technique are discussed for an on-chip spiral inductor and a MIM capacitor in the millimeter-wave band. Simulated results using the finite element method based simulator Ansoft HFSS were compared with measured ones. S-parameters of lumped ports and wave ports excitation modeling were compared and discussed. Thru-Line de-embedding technique was also applied to the result with lumped and wave port analysis model. S-parameters with Thru-Line de-embedding technique agreed very well with the measured ones. |
キーワード |
(和) |
スパイラルインダクタ / MIMキャパシタ / ミリ波 / CMOS / 電磁界解析 / De-embedding / / |
(英) |
Spiral inductor / MIM capacitor / Millimeter-wave / CMOS / Electromagnetic simulation / De-embedding / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 112, no. 251, MW2012-89, pp. 47-52, 2012年10月. |
資料番号 |
MW2012-89 |
発行日 |
2012-10-11 (MW) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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