講演抄録/キーワード |
講演名 |
2012-05-17 14:05
Si基板上無転位発光素子構造の実現に向けたn型およびp型AlGaPN混晶の電気的特性の評価 ○伊藤宏成・熊谷啓助・関口寛人・岡田 浩・若原昭浩(豊橋技科大) ED2012-19 CPM2012-3 SDM2012-21 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2012-19 CPM2012-3 SDM2012-21 |
抄録 |
(和) |
格子整合III-V-N/Si構造において、AlGaPN混晶は、発光素子のクラッド層材料として期待できる。そこで、SおよびMgを不純物材料として、n型およびp型AlGaPNを作製し、Hall効果測定により電気的特性の評価を行った。n型AlGaPNでは、N組成の増加に伴う電子濃度の減少量が、GaPNよりも少ない結果が得られた。これはNの供給量が少ないことにより、不活性化の原因であるS-N結合が形成されにくくなったためであると考えられる。p型 AlGaPN では、正孔移動度の温度依存性より合金散乱が支配的となった。また、活性化エネルギーは、GaPNと同程度であった。 |
(英) |
AlGaPN alloys are expected as a cladding layer for Si based monolithic laser structure in optoelectronic integrated circuit. Electrical properties of AlGaPN alloys grown by solid source molecular beam epitaxy have been investigated by Hall effect measurement. In n-type AlGaPN, the decrease of electron concentration with increasing N composition is improved as compared with n-type GaPN. In p-type AlGaPN, the alloy scattering is dominant near the room temperature, and activation energy of the acceptor is the same level in p-type GaPN. |
キーワード |
(和) |
光電子集積回路 / III-V-N混晶 / AlGaPN / ドーピング / / / / |
(英) |
OEIC / III-V-N alloy / AlGaPN / doping / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 112, no. 32, ED2012-19, pp. 11-14, 2012年5月. |
資料番号 |
ED2012-19 |
発行日 |
2012-05-10 (ED, CPM, SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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