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講演抄録/キーワード
講演名 2012-04-20 14:45
LSIチップ上に集積化した磁性薄膜電磁ノイズ抑制体のイントラデカップリング効果
室賀 翔小舘 航遠藤 恭山口正洋東北大EMCJ2012-6
抄録 (和) 本研究では,薄膜電磁ノイズ抑制体の誘導性結合を評価するため,IEC規格で定められたノイズ抑制シートの評価方法に基づいた測定法を提案し,実測を通してその有用性を示した.2つの微小コイルが配置されたTEGチップを,90 nm CMOSプロセスを用いて作製し,コイル間の差動伝送測定を行うことで,誘導結合を評価した.その結果,ICチップ内におけるイントラカップリングを抑制する手法として,磁性薄膜が有用であることを示した.更に,本研究においては,ノイズ抑制効果の主要因は強磁性共鳴損失であり,その抑制効果が極大となる周波数は,磁性膜固有の共鳴周波数と反磁界より求められることを示した.これらの結果より,提案した測定法は,ICチップレベルにおけるノイズ抑制帯GHz帯のノイズ抑制体を評価するため,有用であることを示した. 
(英) New measurement method for L-coupling on the basis of the IEC standard to evaluate the sheet type ferromagnetic noise suppressor is proposed. Performance of magnetic thin-film is evaluated as a candidate for on-chip noise suppressor. Miniature loops coils implemented on a 90 nm design test element group (TEG) chip are used as the noise transmitter and receiver. Differential transmission parameter Sdd21 is evaluated as a measure of inductive noise intra-decoupling. Magnetic film is useful for frequency selective noise decoupler. The coupling is supported most at the ferromagnetic resonance (FMR) frequency, which is deviated from its intrinsic frequency and the degree of deviation can be calculated by using characteristic length. These results demonstrate that the proposed method is useful to characterize the IC chip level noise suppressor in the GHz range.
キーワード (和) 電磁環境両立性 / 電磁ノイズ抑制体 / イントラデカップリング / 誘導性結合 / 強磁性共鳴 / 反磁界 / オンチップ計測 /  
(英) Electoromagnetic Compatibility / Electromagnetic noise suppressor / Intra-decoupling / Demagnetizing field / Ferromagnetic resonance / Inductive-coupling / On-chip measurement /  
文献情報 信学技報, vol. 112, no. 12, EMCJ2012-6, pp. 31-36, 2012年4月.
資料番号 EMCJ2012-6 
発行日 2012-04-13 (EMCJ) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード EMCJ2012-6

研究会情報
研究会 EMCJ  
開催期間 2012-04-20 - 2012-04-20 
開催地(和) 金沢大学角間キャンパス 
開催地(英) Kanazawa Univ. 
テーマ(和) EMC, 一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 EMCJ 
会議コード 2012-04-EMCJ 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) LSIチップ上に集積化した磁性薄膜電磁ノイズ抑制体のイントラデカップリング効果 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Performance of Inter Decoupling by Magnetic Thin Film Noise Suppressor Integrated to LSI Chip 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 電磁環境両立性 / Electoromagnetic Compatibility  
キーワード(2)(和/英) 電磁ノイズ抑制体 / Electromagnetic noise suppressor  
キーワード(3)(和/英) イントラデカップリング / Intra-decoupling  
キーワード(4)(和/英) 誘導性結合 / Demagnetizing field  
キーワード(5)(和/英) 強磁性共鳴 / Ferromagnetic resonance  
キーワード(6)(和/英) 反磁界 / Inductive-coupling  
キーワード(7)(和/英) オンチップ計測 / On-chip measurement  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 室賀 翔 / Sho Muroga / ムロガ ショウ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 小舘 航 / Wataru Kodate / コダテ ワタル
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 遠藤 恭 / Yasushi Endo / エンドウ ヤスシ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 山口 正洋 / Masahiro Yamaguchi / ヤマグチ マサヒロ
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
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講演者
発表日時 2012-04-20 14:45:00 
発表時間 25 
申込先研究会 EMCJ 
資料番号 IEICE-EMCJ2012-6 
巻番号(vol) IEICE-112 
号番号(no) no.12 
ページ範囲 pp.31-36 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-EMCJ-2012-04-13 


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