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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-02-23 13:00 ［招待講演］超音波計測と電気電子材料 ○櫛引淳一（東北大）  US2011-108 |
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| 抄録 | （和） | 著者は40年以上にわたってVHF・UHF帯の集束超音波や平面超音波を用いた、超音波計測とその応用に関わる研究教育に従事してきた。超音波顕微鏡技術の研究をする中で、「直線集束ビーム超音波顕微鏡」を開発した。「超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)技術」としてまとめ、弾性表面波やバルク波速度を0.001%で計測できる技術に仕上げた。そして、LiNbO3, LiTaO3, ZnO, AlN, 人工水晶の単結晶やシリカ系ガラスなど、バルクや薄膜の材料に応用するための実験計測手順、すなわち辞書作りをし、材料科学における新しい測定・分析技術として仕上げた。本論文では、研究の背景といくつかの代表的成果を概観する。 |
| （英） | For over 40 years at Tohoku University, the author has conducted the research and development associated with ultrasonic metrology, especially acoustic microscopy and its applications, on the basis of his research background with a wide variety of knowledge, experience, and technologies on ultrasonics. He was an inventor of the line-focus-beam (LFB) acoustic microscope, and established a novel method of quantitative material characterization through the V(z) curve analysis, in the research field of acoustic microscopy, and completed the LFB ultrasonic material characterization (LFB-UMC) system. He also developed the ultrasonic microspectroscopy (UMS) technology comprising acoustic microscopy and VHF/UHF ultrasonic spectroscopy and its applications, with a measurement precision of 0.001% in velocity for surface acoustic waves and bulk (longitudinal and shear) waves. He verified its usefulness and effectiveness by resolving various kinds of scientific and industrial problems associated with single crystals such as LiNbO3, LiTaO3, ZnO, AlN, and α-quartz, and ultra-low-expansion SiO2 glasses, and by applying it to their epitaxial single and polycrystalline thin films. This paper will review the research background and some typical results. | |
| キーワード | （和） | 超音波マイクロスペクトロスコピー / 直線集束ビーム超音波顕微鏡 / 漏洩弾性表面波とバルク波の音速測定と精密計測 / ゼロCTE温度 / 仮想温度 / 音響関連物理定数 / 圧電単結晶 / TiO2-SiO2超低膨張ガラス |
| （英） | ultrasonic micro-spectroscopy / line-focus-beam acoustic microscopy / leaky surface-acoustic-wave and bulk-wave velocity measurements / zero-CTE temperature / fictive temperature / acoustical physical constants / piezoelectric single crystals / TiO2-SiO2 ULE glass | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 443, US2011-108, pp. 23-28, 2012年2月. | |
| 資料番号 | US2011-108 | |
| 発行日 | 2012-02-16 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2011-108 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2012-02-23 - 2012-02-23 |
| 開催地（和） | GEヘルスケア・ジャパン株式会社 日野本社５階会議室 |
| 開催地（英） | GE Healthcare Japan |
| テーマ（和） | アコースティックイメージング、一般 (共催：日本音響学会アコースティックイメージング研究会) |
| テーマ（英） | Acoustic Imaging, General, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2012-02-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 超音波計測と電気電子材料 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Ultrasonic measurements of electronic materials |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超音波マイクロスペクトロスコピー / ultrasonic micro-spectroscopy |
| キーワード(2)（和/英） | 直線集束ビーム超音波顕微鏡 / line-focus-beam acoustic microscopy |
| キーワード(3)（和/英） | 漏洩弾性表面波とバルク波の音速測定と精密計測 / leaky surface-acoustic-wave and bulk-wave velocity measurements |
| キーワード(4)（和/英） | ゼロCTE温度 / zero-CTE temperature |
| キーワード(5)（和/英） | 仮想温度 / fictive temperature |
| キーワード(6)（和/英） | 音響関連物理定数 / acoustical physical constants |
| キーワード(7)（和/英） | 圧電単結晶 / piezoelectric single crystals |
| キーワード(8)（和/英） | TiO2-SiO2超低膨張ガラス / TiO2-SiO2 ULE glass |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki / クシビキ ジュンイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 (略称： 東北大) Touhoku University (略称： Touhoku Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-02-23 13:00:00 |
| 発表時間 | 60分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2011-108 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.443 |
| ページ範囲 | pp.23-28 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2012-02-16 (US) |
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