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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-02-13 11:30 レイアウトを考慮した故障カバレージの高精度見積りに関する一考察 ○新井雅之・清水貴弘・岩崎一彦（首都大東京）  DC2011-79 |
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| 抄録 | （和） | 半導体製造技術の微細化・高集積化に伴い，欠陥レベルの事前見積り値と実製品に対する値との乖離が問題となっている．本稿では，欠陥レベルを高精度に見積もるための一手法として，与えられたテストパターンセットに対する故障カバレージをより高精度に見積もる手法について検討する．レイアウトデータにおける任意の配線および配線対に対して，複数の欠陥粒径を仮定してクリティカルエリア解析を実行する．得られたクリティカルエリアから，オープン故障およびブリッジ故障に対して，各故障の発生頻度に基づく重み付き故障カバレージを導出する． |
| （英） | Shrinking feature size and higher integration on semiconductor device manufacturing technology bring a problem of the gap between the defect level estimated at the design stage from the reported one for fabricated devices. In this study, as one possible strategy to accurately estimate the defect level, we discuss on a fault coverage estimation with more accuracy for the given test pattern set. For each possible wire and wire pair in a given layout data, we execute critical area analysis multiple times, assuming different defect sizes. On the basis of critical areas obtained, we calculate weighted open/bridge fault coverages, considering frequency of occurrence of each fault. | |
| キーワード | （和） | 重み付きブリッジ故障カバレージ / 重み付きオープン故障カバレージ / レイアウト考慮 / クリティカルエリア / / / / |
| （英） | weighted bridge fault coverage / weighted open fault coverage / layout-aware / critical area / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 435, DC2011-79, pp. 19-24, 2012年2月. | |
| 資料番号 | DC2011-79 | |
| 発行日 | 2012-02-06 (DC) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | DC2011-79 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | DC |
| 開催期間 | 2012-02-13 - 2012-02-13 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | VLSI設計とテストおよび一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | DC |
| 会議コード | 2012-02-DC |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | レイアウトを考慮した故障カバレージの高精度見積りに関する一考察 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Note on Layout-Aware High Accuracy Estimation of Fault Coverage |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 重み付きブリッジ故障カバレージ / weighted bridge fault coverage |
| キーワード(2)（和/英） | 重み付きオープン故障カバレージ / weighted open fault coverage |
| キーワード(3)（和/英） | レイアウト考慮 / layout-aware |
| キーワード(4)（和/英） | クリティカルエリア / critical area |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 新井 雅之 / Masayuki Arai / アライ マサユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 首都大学東京 (略称： 首都大東京) Tokyo Metropolitan University (略称： Tokyo Metro. Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 貴弘 / Yoshihiro Shimizu / シミズ ヨシヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 首都大学東京 (略称： 首都大東京) Tokyo Metropolitan University (略称： Tokyo Metro. Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩崎 一彦 / Kazuhiko Iwasaki / イワサキ カズヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 首都大学東京 (略称： 首都大東京) Tokyo Metropolitan University (略称： Tokyo Metro. Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-02-13 11:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | DC |
| 資料番号 | DC2011-79 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.435 |
| ページ範囲 | pp.19-24 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2012-02-06 (DC) |
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