講演抄録/キーワード |
講演名 |
2011-12-16 13:55
スパッタリング法による希土類ドープTa2O5薄膜の作製とその発光特性の評価 三浦健太・○新井勇輝・花泉 修(群馬大) OPE2011-143 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2011-143 |
抄録 |
(和) |
スパッタリング法によりEuドープTa2O5薄膜を成膜し,アニール後,波長600nm, 620nm, 650nm及び700nm付近の4つの発光ピークが発現することを確認した.特に波長620nm付近の発光ピークが優勢であり,肉眼では赤色もしくは橙色の発光として観察できた.更に,4つの発光ピークの強度のアニール温度依存性を調べ,波長620nm付近の発光ピークについては,アニール温度700℃とした場合に強度が最大となることがわかった. |
(英) |
Eu-doped Ta2O5 films were prepared by using rf magnetron sputtering. Visible photoluminescence was obtained from the films after annealing under excitation with a He-Cd laser (wavelength: 325 nm). Four peaks having wavelengths around 600, 620, 650 and 700 nm were observed from the films annealed at 600-900 degrees centigrade. The strongest intensity of the 620-nm peak was obtained from the film annealed at 700 degrees centigrade for 20 min. |
キーワード |
(和) |
Ta2O5 / Eu / スパッタリング / アニール / 可視発光 / / / |
(英) |
Ta2O5 / Eu / Sputtering / Annealing / Visible-light Emission / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 111, no. 358, OPE2011-143, pp. 13-16, 2011年12月. |
資料番号 |
OPE2011-143 |
発行日 |
2011-12-09 (OPE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
OPE2011-143 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2011-143 |
研究会情報 |
研究会 |
OPE |
開催期間 |
2011-12-16 - 2011-12-16 |
開催地(和) |
機械振興会館 |
開催地(英) |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
テーマ(和) |
光パッシブコンポネント(フィルタ、コネクタ、MEMS)、シリコンフォトニクス、光ファイバ、一般 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
OPE |
会議コード |
2011-12-OPE |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
スパッタリング法による希土類ドープTa2O5薄膜の作製とその発光特性の評価 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Light-emitting properties of rare-earth-doped Ta2O5 thin films fabricated by using rf sputtering |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
Ta2O5 / Ta2O5 |
キーワード(2)(和/英) |
Eu / Eu |
キーワード(3)(和/英) |
スパッタリング / Sputtering |
キーワード(4)(和/英) |
アニール / Annealing |
キーワード(5)(和/英) |
可視発光 / Visible-light Emission |
キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
三浦 健太 / Kenta Miura / ミウラ ケンタ |
第1著者 所属(和/英) |
群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
新井 勇輝 / Yuki Arai / アライ ユウキ |
第2著者 所属(和/英) |
群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
花泉 修 / Osamu Hanaizumi / ハナイズミ オサム |
第3著者 所属(和/英) |
群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第2著者 |
発表日時 |
2011-12-16 13:55:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
OPE |
資料番号 |
OPE2011-143 |
巻番号(vol) |
vol.111 |
号番号(no) |
no.358 |
ページ範囲 |
pp.13-16 |
ページ数 |
4 |
発行日 |
2011-12-09 (OPE) |