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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-11-28 13:00 ［招待講演］MEMS Microwave Tunable Filters on High-K LTCC -- Featuring Low Insertion Loss and Small Sized -- ○Fumihiko Nakazawa・Xiaoyu Mi・Osamu Toyoda・Satoshi Ueda（Fujitsu Lab.）  CPM2011-150 ICD2011-82 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2011-150 ICD2011-82 |
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| 抄録 | （和） | 低挿入損かつ小形で広い可変帯域を持ち、K バンドとS バンドを動作帯域とするMEMS可変バンドパスフィルタを開発した。このフィルタはMEMSバラクタを可変素子とするマイクロストリップ共振子を高誘電率LTCC(low-temperature-co-fired-ceramics）配線ウエハにMEMS-on-LTCC 技術を用いて形成した。このMEMS-on-LTCC技術は高誘電率材料をフィルタの基板として用いることを可能とし、可変フィルタの小形化と低損失を実現した。 |
| （英） | This paper describes novel MEMS tunable band-pass filters, which operate at the K and S bands, feature extremely low insertion loss, small size, and wide continuous tuning range. The tunable filters are based on MEMS-varactors-loaded microstrip resonators and have been directly constructed on a high-k low-temperature-co-fired-ceramics (LTCC) wiring wafer using MEMS-on-LTCC technology, which allows the use of high-k materials as the filter substrate, enabling a small size and low insertion loss. |
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| キーワード | （和） | MEMS / LTCC / Tunable Filter / / / / / |
| （英） | MEMS / LTCC / 可変フィルタ / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 326, CPM2011-150, pp. 7-12, 2011年11月. | |
| 資料番号 | CPM2011-150 | |
| 発行日 | 2011-11-21 (CPM, ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2011-150 ICD2011-82 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2011-150 ICD2011-82 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD DC IPSJ-SLDM CPSY RECONF ICD CPM |
| 開催期間 | 2011-11-28 - 2011-11-30 |
| 開催地（和） | ニューウェルシティ宮崎 |
| 開催地（英） | NewWelCity Miyazaki |
| テーマ（和） | デザインガイア2011 -VLSI設計の新しい大地― |
| テーマ（英） | Design Gaia 2010 -New Field of VLSI Design- |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2011-11-VLD-DC-SLDM-CPSY-RECONF-ICD-CPM |
| 本文の言語 | 英語 |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | MEMS Microwave Tunable Filters on High-K LTCC |
| サブタイトル（英） | Featuring Low Insertion Loss and Small Sized |
| キーワード(1)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(2)（和/英） | LTCC / LTCC |
| キーワード(3)（和/英） | Tunable Filter / 可変フィルタ |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中澤 文彦 / Fumihiko Nakazawa / ナカザワ フミヒコ |
| 第1著者 所属（和/英） | 富士通研究所 (略称： 富士通研) Fujitsu Labolatories LTD (略称： Fujitsu Lab.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | ミイ シャオユウ / Xiaoyu Mi / ミイ シャオユウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 富士通研究所 (略称： 富士通研) Fujitsu Labolatories LTD (略称： Fujitsu Lab.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 豊田 治 / Osamu Toyoda / トヨダ オサム |
| 第3著者 所属（和/英） | 富士通研究所 (略称： 富士通研) Fujitsu Labolatories LTD (略称： Fujitsu Lab.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上田 知史 / Satoshi Ueda / ウエダ サトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 富士通研究所 (略称： 富士通研) Fujitsu Labolatories LTD (略称： Fujitsu Lab.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-11-28 13:00:00 |
| 発表時間 | 50分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2011-150, ICD2011-82 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.326(CPM), no.327(ICD) |
| ページ範囲 | pp.7-12 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-11-21 (CPM, ICD) |
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