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講演抄録/キーワード
講演名 2011-10-27 10:45
NH3分解触媒を用いたInNのMOVPE成長
廣長大造杉田憲一A.g. Bhuiyan橋本明弘山本あき勇福井大CPM2011-121 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2011-121
抄録 (和) NH3 を窒素源とするInNのMOVPE成長において、NH3の分解率向上のためにPt触媒の導入を提案し検討した。Pt触媒の導入によって、InN膜の電気的特性ならびに結晶学的特性が向上することを確認した。電気的特性では電子移動度1340cm2/Vsを得た。結晶学的特性では8.63 arcminのTilt値を実現した。また、InN膜の厚膜化による電気的特性ならびに結晶学的特性の向上を確認した。 
(英) In order to increase the NH3 decomposition rate in the MOVPE growth of InN, the employment of Pt catalyst has been proposed and experimentally demonstrated. Electrical and crystallographic properties of InN are markedly improved by using Pt catalyst. An electron mobility as high as 1340 cm2/Vs and a tilt fluctuation as low as 8.63 arcmin have been obtained for InN films grown with Pt catalyst. The improvements of electrical and crystallographic properties of InN with increasing grown InN thickness have been also found.
キーワード (和) MOVPE / InN / NH3 / / / / /  
(英) MOVPE / InN / NH3 / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 111, no. 264, CPM2011-121, pp. 59-62, 2011年10月.
資料番号 CPM2011-121 
発行日 2011-10-19 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2011-121 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2011-121

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2011-10-26 - 2011-10-27 
開催地(和) 福井大学 産学官連携本部研修室 
開催地(英) Fukui Univ. 
テーマ(和) 薄膜プロセス・材料,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2011-10-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) NH3分解触媒を用いたInNのMOVPE成長 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) MOVPE growth of InN using NH3 decomposition catalyst 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) MOVPE / MOVPE  
キーワード(2)(和/英) InN / InN  
キーワード(3)(和/英) NH3 / NH3  
キーワード(4)(和/英) /  
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キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 廣長 大造 / Dazio Hironaga / ヒロナガ ダイゾウ
第1著者 所属(和/英) 福井大学 (略称: 福井大)
University of Fukui (略称: Univ.of Fukui)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 杉田 憲一 / Kenichi Sugita / スギタ ケンイチ
第2著者 所属(和/英) 福井大学 (略称: 福井大)
University of Fukui (略称: Univ.of Fukui)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) A.g. Bhuiyan / A.g. Bhuiyan / A.g. ブイヤン
第3著者 所属(和/英) 福井大学 (略称: 福井大)
University of Fukui (略称: Univ.of Fukui)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 橋本 明弘 / Akihiro Hashimoto / ハシモト アキヒロ
第4著者 所属(和/英) 福井大学 (略称: 福井大)
University of Fukui (略称: Univ.of Fukui)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 山本 あき勇 / Akio Yamamoto / ヤマモト アキオ
第5著者 所属(和/英) 福井大学 (略称: 福井大)
University of Fukui (略称: Univ.of Fukui)
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講演者
発表日時 2011-10-27 10:45:00 
発表時間 25 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-CPM2011-121 
巻番号(vol) IEICE-111 
号番号(no) no.264 
ページ範囲 pp.59-62 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-CPM-2011-10-19 


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