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講演抄録/キーワード
講演名 2011-09-27 10:25
直線集束ビーム超音波材料解析システムによるガラス多層膜の評価
荒川元孝櫛引淳一東北大)・伊藤和彦江藤和幸日本航空電子US2011-56
抄録 (和) 直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムを超高フィネス光キャビティー用多層膜の評価に適用した。RFイオンビームスパッタリング法により、2枚のSiO2基板上にSiO2/Ta2O5多層膜を成膜し、そのうちの1枚を熱処理した。LFB-UMCシステムにより漏洩弾性表面波(LSAW)速度の周波数特性を測定することにより、熱処理によるLSAW速度変化を捉えた。また、SiO2とTa2O5の単層膜を作製し、LFB-UMCシステムにより評価した結果、多層膜の熱処理による弾性率、密度、透過率の変化は、主に、Ta2O5膜の特性変化によるものであることがわかった。 
(英) Multilayer films for optical cavity with ultra-high finesse were evaluated by the line-focus-beam ultrasonic material characterization (LFB-UMC) system. Two SiO2/Ta2O5 multilayer films were deposited on SiO2 substrates by rf ion beam sputtering, and one of them was annealed. Frequency characteristics of leaky surface acoustic wave (LSAW) velocity were measured for specimens by the LFB-UMC system, and LSAW velocity changes due to the annealing were detected. SiO2 and Ta2O5 single layers were also deposited, and LSAW velocities were measured by the LFB-UMC system. It was found that elastic constant, density, and light transmittance changes of multilayer films caused by annealing were mainly affected by their changes of Ta2O5 layers.
キーワード (和) 直線集束ビーム超音波材料解析システム / 漏洩弾性表面波 / 多層膜 / Ta2O5 / SiO2 / 光キャビティー / /  
(英) Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System / Leaky Surface Acoustic Wave / Multilayer Film / Ta2O5 / SiO2 / Optical Cavity / /  
文献情報 信学技報, vol. 111, no. 215, US2011-56, pp. 53-57, 2011年9月.
資料番号 US2011-56 
発行日 2011-09-19 (US) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード US2011-56

研究会情報
研究会 US  
開催期間 2011-09-26 - 2011-09-27 
開催地(和) 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 
開催地(英) Tohoku Univ. 
テーマ(和) 一般 
テーマ(英) General 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 US 
会議コード 2011-09-US 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 直線集束ビーム超音波材料解析システムによるガラス多層膜の評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Evaluation of Glass Multilayer Films by the Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 直線集束ビーム超音波材料解析システム / Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System  
キーワード(2)(和/英) 漏洩弾性表面波 / Leaky Surface Acoustic Wave  
キーワード(3)(和/英) 多層膜 / Multilayer Film  
キーワード(4)(和/英) Ta2O5 / Ta2O5  
キーワード(5)(和/英) SiO2 / SiO2  
キーワード(6)(和/英) 光キャビティー / Optical Cavity  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 荒川 元孝 / Mototaka Arakawa / アラカワ モトタカ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki / クシビキ ジュンイチ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 伊藤 和彦 / Kazuhiko Itoh / イトウ カズヒコ
第3著者 所属(和/英) 日本航空電子工業 (略称: 日本航空電子)
Japan Aviation Electronics Industry Ltd. (略称: JAE)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 江藤 和幸 / Kazuyuki Etoh / エトウ カズヒコ
第4著者 所属(和/英) 日本航空電子工業 (略称: 日本航空電子)
Japan Aviation Electronics Industry Ltd. (略称: JAE)
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講演者 第1著者 
発表日時 2011-09-27 10:25:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 US 
資料番号 US2011-56 
巻番号(vol) vol.111 
号番号(no) no.215 
ページ範囲 pp.53-57 
ページ数
発行日 2011-09-19 (US) 


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