講演抄録/キーワード |
講演名 |
2011-07-04 09:20
SiC(0001)面上エピタキシャルグラフェンの構造と形成 ○影島博之・日比野浩樹・山口浩司(NTT)・永瀬雅夫(徳島大) SDM2011-51 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2011-51 |
抄録 |
(和) |
SiC(0001)面上のエピタキシャルグラフェンの成長機構について、第一原理計算を用いて検討した。界面グラフェン1層はバッファ層として機能すること、新しいグラフェンシートはバッファ層とSiC基板表面の界面から成長する界面成長であることが明らかになった。また、SiC(0001)面上のグラフェン島は、Si脱離とC吸着の協調によるSi置換Cの凝集物形成により、埋め込まれた構造を取り得ることがわかった。 |
(英) |
Epitaxial graphene growth on SiC(0001) surface is theoretically studied by the first-principles calculation. It is found that a sheet of graphene at the interface acts as the buffer layer, and that new graphene sheets grow from the interface between the buffer layer and the SiC substrate surface. It is also found that the graphene island on SiC(0001) surface has an embedded structure, which is formed by the aggregation of Si-substitutional C after Si sublimation and C adsorption. |
キーワード |
(和) |
グラフェン / SiC / エピタキシャル成長 / 第一原理計算 / / / / |
(英) |
graphene / SiC / epitaxial growth / first-principles calculation / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 111, no. 114, SDM2011-51, pp. 7-10, 2011年7月. |
資料番号 |
SDM2011-51 |
発行日 |
2011-06-27 (SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
SDM2011-51 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2011-51 |