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講演抄録/キーワード
講演名 2011-06-17 14:50
熱物性顕微鏡による多層膜めっきの熱浸透率の測定
村上和也和田国彦東芝R2011-18
抄録 (和) 電子部品の良品解析では,非破壊で欠陥を検査する方法として,X線透過検査や赤外線サーモグラフィー,膜の厚さを測定する方法として蛍光X線分析などを使用している.しかし,これらの方法では、数µmオーダーの微小領域の測定や,多層膜を構成する各層の性状などの同定が困難であった.本報告では,熱物性顕微鏡を利用して多層膜めっきの熱物性評価を試み,その有効性について検討したので紹介する. 
(英) On a non-defective analysis of electronic components, people use X-ray transmission inspection and infrared thermography as non-destructive method for inspecting defects, and X-ray fluorescence analysis as a method of measuring the film thickness. However, these methods are difficult to measure file thickness in micro area and to identify the characteristics of each layer constituting the multilayer film. In this report, we conducted thermal characterization of multilayer plating, using thermal microscope.
キーワード (和) 熱物性顕微鏡 / 熱浸透率 / 多層膜めっき / 良品解析 / / / /  
(英) Thermal microscope / Thermal effusivity / Multilayer plating / Non-defective Analyses / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 111, no. 83, R2011-18, pp. 17-21, 2011年6月.
資料番号 R2011-18 
発行日 2011-06-10 (R) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード R2011-18

研究会情報
研究会 R  
開催期間 2011-06-17 - 2011-06-17 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英)  
テーマ(和) システムの信頼性・信頼性一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 R 
会議コード 2011-06-R 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 熱物性顕微鏡による多層膜めっきの熱浸透率の測定 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) THERMAL EFFUSIVITY MEASURMENT OF MULTILAYER PLATING USING THERMAL MICROSCOPE 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 熱物性顕微鏡 / Thermal microscope  
キーワード(2)(和/英) 熱浸透率 / Thermal effusivity  
キーワード(3)(和/英) 多層膜めっき / Multilayer plating  
キーワード(4)(和/英) 良品解析 / Non-defective Analyses  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 村上 和也 / Kazuya Murakami / ムラカミ カズヤ
第1著者 所属(和/英) 株式会社東芝 電力システム社 電力・社会システム技術開発センター (略称: 東芝)
Toshiba Corporation Power Systems Companiy Power and industrial Systems R&D Center (略称: Toshiba)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 和田 国彦 / Kunihiko Wada /
第2著者 所属(和/英) 株式会社東芝 電力システム社 電力・社会システム技術開発センター (略称: 東芝)
Toshiba Corporation Power Systems Companiy Power and industrial Systems R&D Center (略称: Toshiba)
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講演者
発表日時 2011-06-17 14:50:00 
発表時間 25 
申込先研究会 R 
資料番号 IEICE-R2011-18 
巻番号(vol) IEICE-111 
号番号(no) no.83 
ページ範囲 pp.17-21 
ページ数 IEICE-5 
発行日 IEICE-R-2011-06-10 


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