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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-05-20 16:05 コヒーレント軟X線を用いたフェムト秒レーザーアブレーション過程のイメージング ○富田卓朗（徳島大）・寺川康太（東大）・山本 稔（徳島大）・長谷川 登（原子力機構）・南 康夫（東大）・錦野将元・越智義浩・海堀岳史・河内哲哉・山極 満（原子力機構）・末元 徹（東大）  LQE2011-13 エレソ技報アーカイブへのリンク：LQE2011-13 |
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| 抄録 | （和） | 日本原子力研究開発機構で開発された、短パルスコヒーレント軟Ｘ線光源（レーザープラズマＸ線レーザー）を用いた、フェムト秒アブレーション過程の時間分解イメージングについて報告する。サンプルで反射しロイズミラーで二分割した軟Ｘ線を重ね合わせることで干渉縞を得た。この光学系により、試料面内方向の空間分解能1.8μm、深さ方向の空間分解能1nmを達成した。試料上をフェムト秒レーザー照射することで、アブレーションプロセスに伴う表面膨張過程を観測することに成功し、可視光などを用いたこれまでの計測では観測されていなかった、アブレーションクレーター外部における過渡的な膨張とその後に生じる数nmオーダーの微小な表面陥没を観測した。 |
| （英） | We report the result of the time-resolved imaging of femtosecond laser ablation process by using the short pulsed coherent soft X-ray light source developed in Japan Atomic Energy Agency. We obtained the interference pattern by overlapping two soft X-ray beams which are divided by the Lloyd’s mirror system. By using this optical system, the lateral resolution of 1.8 micron and the depth resolution of 1 nm have been achieved. The ablation process has been successfully observed by irradiating the femtosecond laser pulses onto the surface of the samples. From this measurement, transient dilatation and the nanometer-scaled final subsidence were observed at the outside region of the ablation crater. | |
| キーワード | （和） | フェムト秒レーザーアブレーション / コヒーレント軟Ｘ線 / 干渉計 / / / / / |
| （英） | femtosecond laser ablation / coherent soft X-ray / interferometer / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 56, LQE2011-13, pp. 53-57, 2011年5月. | |
| 資料番号 | LQE2011-13 | |
| 発行日 | 2011-05-13 (LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | LQE2011-13 エレソ技報アーカイブへのリンク：LQE2011-13 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE LSJ |
| 開催期間 | 2011-05-20 - 2011-05-20 |
| 開催地（和） | 金沢大学 角間キャンパス |
| 開催地（英） | Kanazawa Univ. (Natural Sci. Tech. Main Bldg.) |
| テーマ（和） | 量子光学，非線形光学，超高速現象，レーザ基礎，及び一般 |
| テーマ（英） | Quantum optics, nonlinear optics, ultra-high speed phenomenon, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2011-05-LQE-LSJ |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | コヒーレント軟X線を用いたフェムト秒レーザーアブレーション過程のイメージング |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Imaging of femtosecond laser ablation process by using coherent soft X-ray |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | フェムト秒レーザーアブレーション / femtosecond laser ablation |
| キーワード(2)（和/英） | コヒーレント軟Ｘ線 / coherent soft X-ray |
| キーワード(3)（和/英） | 干渉計 / interferometer |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 富田 卓朗 / Takuro Tomita / トミタ タクロウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 徳島大学 (略称： 徳島大) Univ. of Tokushima (略称： Tokushima Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寺川 康太 / Kota Terakawa / |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京大学物性研究所 (略称： 東大) Institute for solid state physics, The University of Tokyo (略称： ISSP, Univ. of Tokyo) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山本 稔 / Minoru Yamamoto / |
| 第3著者 所属（和/英） | 徳島大学 (略称： 徳島大) Univ. of Tokushima (略称： Tokushima Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長谷川 登 / Noboru Hasegawa / |
| 第4著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 南 康夫 / Yasuo Minami / |
| 第5著者 所属（和/英） | 東京大学物性研究所 (略称： 東大) Institute for solid state physics, The University of Tokyo (略称： ISSP, Univ. of Tokyo) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 錦野 将元 / Masaharu Nishikino / |
| 第6著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 越智 義浩 / Yoshihiro Ochi / |
| 第7著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 海堀 岳史 / Takeshi Kaihori / |
| 第8著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 河内 哲哉 / Tetsuya Kawachi / |
| 第9著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山極 満 / Mitsuru Yamagiwa / |
| 第10著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 末元 徹 / Tohru Suemoto / |
| 第11著者 所属（和/英） | 東京大学物性研究所 (略称： 東大) Institute for solid state physics, The University of Tokyo (略称： ISSP, Univ. of Tokyo) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-05-20 16:05:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | LQE2011-13 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.56 |
| ページ範囲 | pp.53-57 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2011-05-13 (LQE) |
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