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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-05-19 17:30 AlNテンプレートを用いた高品質AlN/GaN多層膜反射鏡の作製 ○矢木康太・加賀 充・山下浩司・竹田健一郎・岩谷素顕・竹内哲也・上山 智（名城大）・赤崎 勇（名城大/名大）・天野 浩（名大）  ED2011-18 CPM2011-25 SDM2011-31 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2011-18 CPM2011-25 SDM2011-31 |
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| 抄録 | （和） | AlN/GaN多層膜は、?族窒化物半導体において大きな屈折率差が利用できる組み合わせであり、少ない層数で高反射率反射鏡の実現が期待できる。一方、AlNとGaNの格子不整合によるクラックが導入されるため、大面積にわたって高い反射率を有する多層膜反射鏡の作製が困難である。今回、従来用いられるGaNテンプレートの代わりにAlNテンプレートを用いて、クラックの原因であると考えられる引っ張り歪を抑制した多層膜反射鏡の作製を初めて行った。30ペア積層した結果、高反射率(97.5%)を達成し、かつクラックの大幅な抑制を実現することができた。 |
| （英） | AlN/GaN multilayer structures have relatively large refractive index differences in the group-III nitride semiconductors, which are expected to obtain high reflectivity distributed Bragg reflectors (DBRs) with a relatively small number of pairs. On the other hand, due to the cracks caused by the lattice mismatch, it is difficult to fabricate DBRs having high reflectivities in a large area. In this paper, we fabricated AlN/GaN DBRs on AlN templates for the first time in order to suppress the cracks by minimizing the tensile strain in the DBR layers. A high reflectivity of 97.5% was achieved in the 30 pair AlN/GaN DBR on AlN template. | |
| キーワード | （和） | 多層膜反射鏡 / DBR / クラック / AlN / 反射率 / / / |
| （英） | Distributed Bragg Reflector / crack / AlN / Reflectance / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 45, CPM2011-25, pp. 89-93, 2011年5月. | |
| 資料番号 | CPM2011-25 | |
| 発行日 | 2011-05-12 (ED, CPM, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2011-18 CPM2011-25 SDM2011-31 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2011-18 CPM2011-25 SDM2011-31 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM SDM ED |
| 開催期間 | 2011-05-19 - 2011-05-20 |
| 開催地（和） | 名古屋大学 ＶＢＬ |
| 開催地（英） | Nagoya Univ. (VBL) |
| テーマ（和） | 結晶成長、評価技術及びデバイス（化合物、Si、SiGe、電子・光材料） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2011-05-CPM-SDM-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | AlNテンプレートを用いた高品質AlN/GaN多層膜反射鏡の作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High-quality AlN/GaN distributed Bragg reflectors grown on AlN templates |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 多層膜反射鏡 / Distributed Bragg Reflector |
| キーワード(2)（和/英） | DBR / crack |
| キーワード(3)（和/英） | クラック / AlN |
| キーワード(4)（和/英） | AlN / Reflectance |
| キーワード(5)（和/英） | 反射率 / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 矢木 康太 / Kouta Yagi / ヤギ コウタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijou University (略称： Meijou Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 加賀 充 / Mitsuru Kaga / カガ ミツル |
| 第2著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijou University (略称： Meijou Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山下 浩司 / Kouji Yamashita / ヤマシタ コウジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijou University (略称： Meijou Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹田 健一郎 / Kenichiro Takeda / タケダ ケンイチロウ |
| 第4著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijou University (略称： Meijou Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩谷 素顕 / Motoaki Iwaya / イワヤ モトアキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijou University (略称： Meijou Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹内 哲也 / Tetsuya Takeuchi / タケウチ テツヤ |
| 第6著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijou University (略称： Meijou Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上山 智 / Satoshi Kamiyama / カミヤマ サトシ |
| 第7著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijou University (略称： Meijou Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 赤崎 勇 / Isamu Akasaki / アカサキ イサム |
| 第8著者 所属（和/英） | 名城大学/名古屋大学 (略称： 名城大/名大) Meijou University/Nagoya University (略称： Meijou Univ./Nagoya Univ.) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 天野 浩 / Hiroshi Amano / アマノ ヒロシ |
| 第9著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-05-19 17:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | ED2011-18, CPM2011-25, SDM2011-31 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.44(ED), no.45(CPM), no.46(SDM) |
| ページ範囲 | pp.89-93 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2011-05-12 (ED, CPM, SDM) |
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